판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082121

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 고정밀 반도체 생산을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA에 의해 처음 소개되었으며 2004 년에 상용화 된 Surfscan 범위의 모델입니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼를 검사하고 분석할 수 있는 자동화된 비파괴적 (non-destructive) 검사 장치입니다. 결함의 검출은 기계의 이중 소스, 고해상도 광학 이미징에 의해 촉진됩니다. 이렇게 하면 광원 센서 주사 (scanning light sensor) 가 프로세스의 반사 광도 (reflected light intensity) 를 측정하는 것과 동시에 고대비 이미지로 이루어진 광시야각 (wide field of view) 이 제공됩니다. 이 도구는 통합 웨이퍼 처킹 (wafer chucking) 메커니즘과 웨일 (wail) 기능이 제공되어 정확하고 안정적인 웨이퍼 배치를 보장합니다. 이러한 요소들은 모두 폐기의 다양한 모양, 크기, 복잡한 토폴로지 (topology) 를 검사하는 동시에 고해상도를 유지하기에 완벽한 자산 (asset) 을 제공합니다. KLA SP1-TBI SURFSCAN의 주요 기능 중 하나는 고급 결함 분류 기능입니다. 독자적인 소프트웨어 기반 알고리즘을 사용하여 결함 분류를 라인에지 거친 (line-edge roughness), 변조 (modulation), 트리거 (trigger), 스레딩 (threading) 및 브리징 (bridging) 과 같은 결함 유형으로 자동화할 수 있습니다. 이 자동 기능을 사용하면 검사된 마스크 및 웨이퍼 설계를 정확하게 평가하여 생산량 및 신뢰성을 평가할 수 있습니다. TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 또한 반도체 생산에서 매우 중요한 이미지 기반 프로세스 제어 데이터를보고 할 수 있습니다. 이 데이터에는 선 너비 측정, 결함 밀도, 불균일 에칭, 채우기 및 채우기 깊이가 포함됩니다. 이를 통해 제조업체는 생산 프로세스를 완벽하게 통제하고 중요한 통찰력을 얻을 수 있습니다 (영문). SP1-TBI SURFSCAN은 반도체 설계 생산에서 가능한 최고 품질을 보장하는 귀중한 도구입니다. '마스크 (mask)' 와 '웨이퍼 (wafer)' 디자인을 빠르고 정확하게 분석할 수 있는 통합형 모델로, 제조업체의 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 동시에, 이 제품은 프로세스의 정확성과 신뢰성을 보장하는 효율적인 방법을 제공하며, 생산되는 제품의 최고 (Top) 품질을 보장합니다.