판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082120

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 아트 마스크 및 웨이퍼 검사 장비의 상태입니다. 첨단 2 빔 검사 기술을 활용하여 마이크로칩의 결함을 빠르고 안정적으로 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 선 너비 (line width) 에서 간격 (spacing), 결함, 모서리 배치 오류 및 기타 유형의 불규칙성에 이르기까지 다양한 피쳐를 검사할 수 있습니다. KLA SP1-TBI SURFSCAN 장치는 광학 판독기, 지능형 광학 탐지 장치 및 패턴 인식 엔진의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광학 판독기는 2 개의 초고속 레이저 빔으로 구성되며, 이를 통해 마스크 또는 웨이퍼 표면의 넓은 필드 포인트 (field point) 를 측정 할 수 있습니다. 탐지기는 지능형 감지 장치 (Intelligent Sensing Unit) 를 사용하여 웨이퍼의 기능에 대한 정보 (예: 선 너비, 간격 및 불규칙) 를 수집합니다. 또한 2 차원 및 3 차원 공간의 측정에 적합한 정확한 결과를 제공합니다. 패턴 인식 엔진 (pattern recognition engine) 은 광학 판독기 (optical reader) 와 검출기 (detector) 가 수집한 데이터를 분석하고 수집한 정보를 바탕으로 결정을 내릴 책임이 있습니다. 선 너비 식별, 모서리 배치 오류 확인, 회로에서 현재 단락 찾기 (Finding current shorts in the circuit) 등 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 제공된 마스크 및 웨이퍼 이미지에서 새로운 보이지 않는 결함을 감지 할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 를 검사하여 다양한 애플리케이션의 정확성과 반복성을 보장하는 동시에, 빠른 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 고감도 (High Sensitivity) 및 탐지 (Detection) 기능을 갖춘 이 툴은 최고 수준의 품질과 안정성으로 칩을 제조합니다.