판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9049199
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판매
ID: 9049199
Particle measurement inspection system, 12"
Software Version: 4.200
Standard Specification:
Haze, Analysis & Normalization
MX4.2 SR03 Software Application
Desktop Software for first Article
Normal & Oblique Illumination
Opt, Enhcd Edge Exclusion 2mm
Puck Handling - 300/200mm
XY Coordinates
Hardware Configuration:
Microsoft WinXP5.1
E40/E87/E90/E94
E84 enabled for OHT & AGV/RGV
GEM/SECS (Comm Port)
GEM/SECS (HSMS)
ASYST AXYS-21 Robot
300mm Dual FIMS Bulkhead Asyst
Two AdvanTag SingleWire CID
4 Color Light Tower
Brightfield
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS는 높은 정확도, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로를 생산하는 동안 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 오류를 감지하도록 설계된 다양한 도구를 제공합니다. 이 제품은 제품 출시 전에 다시 마스킹, 재검사, 기타 Corrective Repair Task 와 관련된 비용을 절감합니다. KLA SP1 Surfscan DLS는 박막 결함, 피크 밸리 높이의 측정, 기타 유형의 구조 및 전기 결함과 같은 표면 지형 기능과 같은 오류를 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 정교한 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 표면의 결함을 빠르고 정확하게 감지합니다. 또한 광범위한 집적 회로 설계 (Integrated Circuit Design) 를 지원하므로 모든 설계에서 오류를 빠르고 안정적으로 감지할 수 있습니다. TENCOR SP1 Surfscan DLS에는 결함 이미지를 캡처하기위한 고해상도 컬러 이미징 CCD 카메라, 최대 정확도를 위해 다양한 각도와 높이를 수용하도록 구성 할 수있는 고품질 조명 머신, 검사에 필요할 때 마스크와 웨이퍼를 정확하게 움직이는 자동 기계 단계 (automated mechanical stage) 가 있습니다. 또한 라인 패턴 수리 및 분석을위한 E 필드 수정, 표면 이미징 및 결함 평가를위한 자동 도구, 자동 패턴 인식 (Automated Pattern Recognition) 등 여러 자동 및 반자동 소프트웨어 툴이 있습니다. SP1 Surfscan DLS (Surfscan DLS) 를 사용하면 사용자 지정 프로세스 맵을 만들고 제품 흐름을 오버레이하여 여러 운영 라인의 성능을 모니터링하여 운영 프로세스에 대한 포괄적인 뷰를 쉽게 얻을 수 있습니다. 이 툴은 또한 여러 웨이퍼 감지 (Wafer Detection) 및 결함 분류 (Defect Classification) 기능을 지원하여 각 제품을 정확하고 안정적으로 테스트 및 검사합니다. 사용자는 KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS (Surfscan DLS) 를 사용하여 운영 프로세스의 잠재적 문제를 파악하여 심각해지기 전에 문제를 파악할 수 있으므로 재검사, 재작업 및 복구와 관련된 비용을 줄일 수 있습니다. 결론적으로 KLA SP1 Surfscan DLS는 강력하지만 사용자 친화적 인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 제품의 품질과 안정성을 보장합니다. 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 과 자동화된 소프트웨어 툴 (Automated Software Tools) 을 통해 오류를 빠르고 정확하게 감지할 수 있으며, 사용자 지정 가능한 프로세스 맵과 보완 제품 흐름을 통해 운영 프로세스를 포괄적으로 파악할 수 있습니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 운영 중 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 정확하고 효율적으로 감지할 수 있으며, 제품 품질을 향상시키는 동시에 비용을 절감할 수 있습니다.
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