판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-DLS #9283698

KLA/TENCOR SP1-DLS는 고급 포토 마스크, 단일 웨이퍼 및 배치 테스트 구조를 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 감지하는 데 사용되며 최대 12 개의 웨이퍼/마스크를 동시에 고속 스캐닝할 수 있습니다. KLA SP1 DLS에는 멀티 빔 레이저 센서가 장착되어 있으며, 한 번에 여러 이미지를 캡처할 수 있습니다. 그런 다음 이러한 이미지는 0.7 m에서 더 큰 결함까지의 크기, 결함에 대해 분석됩니다. 결함 분석 (Defect analysis) 은 숙련 된 운영자의 도움뿐만 아니라 수동으로 수행 할 수 있습니다. TENCOR SP 1-DLS 장치에는 자동 프로그래밍 및 자동 검사 기능이 장착되어 있어 웨이퍼와 마스크를 보다 쉽고 빠르게 검사할 수 있습니다. 또한 사용자는 결함 위치를 분류, 최소화, 시각화, 분석, 보고할 수 있는 결함 검토 프로그램도 있습니다. 이 도구는 유기 필름 (organic film) 과 무기 필름 (inorganic film) 을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있으며, 낮고 높은 반사 표면의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. KLA SP 1-DLS 자산은 사용자의 고급 결함 감지, 이미지 처리 및 데이터 분석을 제공합니다. 실시간 (real-time) 기술을 사용하여 대량의 데이터를 스캔, 분석하고 각도가 다른 여러 이미지를 신속하게 생성합니다. 추가 분석을 위해 데이터를 타사 소프트웨어로 내보낼 수 있습니다. 모델 (Model) 은 사용자정의 가능한 매개변수로, 필요에 따라 결함 감지를 조정할 수 있습니다. TENCOR SP 1 DLS 장비는 시장에서 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 가장 고급 시스템 중 하나입니다. 이 고급 시스템은 작은 결함을 감지할 수 있으며, 정확한 데이터 분석/보고서 생성 기능을 제공하며, 저렴한 가격으로 제공됩니다. 다양한 애플리케이션에 적합하며, 마스크 및 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 어플리케이션에서 높은 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다.