판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267041

KLA/TENCOR SP1-DLS는 고급 반도체 프로세스에 대한 종합적인 모니터링 및 감지 기능을 제공하기 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA SP1 DLS는 최첨단 FinFET을 포함한 다양한 IC 기술에 대해 시간당 최대 600 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 모듈식, 고 처리량 시스템입니다. 마스크 및 웨이퍼 표면의 SEM (optical and scanning electron microscope) 뷰를 위해 업계 최고의 2D 및 3D 이미징 기술을 갖추고 있습니다. TENCOR SP 1-DLS는 표면 토폴로지, 패턴 인식, 오버레이 오류 등 결함 및 기타 기능을 신속하게 감지할 수 있습니다. 검사 속도와 정확성 덕분에, 이 장치는 신속하고 정확하게 문제를 감지할 수 있으며, 수정이 가능하고, 비용이 많이 드는 재작업 및 수리 (Repair) 의 필요성이 줄어듭니다. 또한, 이 기계는 자동화된 결함 분류 및 식별을 지원하는 고급 이미지 처리 기술 및 알고리즘을 갖추고 있습니다. KLA SP1-DLS는 도량형 검사, 계층 별 마스크 검사, 오버레이 오류 감지, 간격 검사 등 고급 분석 기능을 제공합니다. 자동 공구 (automated tool) 설정을 조정하여 다양한 마커 유형에 대한 최적의 매개변수 설정을 확인할 수 있습니다. 따라서 데이터 분석의 특정 매개변수를 쉽게 식별할 수 있습니다. 즉, 에셋의 성능을 최적화하는 데 도움이 됩니다. 이 모델은 고급 네트워킹 기능도 갖추고 있으며, 사용자는 실시간 데이터 오프사이트에 액세스할 수 있습니다. 이를 통해 분석 및 데이터 수집 (data collection) 은 다양한 환경에서 이루어지며, 보다 효율적인 성능을 제공합니다. 또한, 이 장비는 데이터 수집 및 분석 도구를 빠르고 직관적으로 탐색할 수 있는 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. SP 1 DLS 는 종합적인 기능을 제공하여 최신 반도체 프로세스에 이상적인 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템을 제공합니다. 안정적이고 정확한 성능, 빠른 처리 속도, 그래픽 내비게이션 (Graphical Navigation), 종합적인 분석 툴을 갖춘 이 장치는 최첨단 집적회로 (Integrated Circuit) 생산 프로세스의 결함을 파악하고 근절하기 위한 필수 요소입니다.