판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-DLS #9226889

KLA/TENCOR SP1-DLS는 뛰어난 이미지 품질과 정확도를 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 옵틱, 조명, 소프트웨어 기술을 활용하여 매우 상세한 결함 특성, 고급 자동화, 뛰어난 사용 편이성을 제공합니다. 이 시스템은 6 메가 픽셀 이상의 해상도를 제공하는 커스텀 검출기 (custom detector) 설계를 통해 패턴화 및 오염 결함을 감지할 수 있습니다. 광학 장치 (Optics Unit) 를 사용하면 여러 개의 오브젝티브 렌즈를 통해 사용자가 다른 시야와 배율을 선택할 수 있습니다. 컴퓨터에는 이미지 내부에서 어떤 결함 정보 (defect information) 를 검사해야 하는지에 따라 밝거나 어두운 필드 이미지 대비를 생성하도록 설정 (setup) 할 수 있는 재구성 가능한 조명 모듈이 있습니다. 빛은 복잡한 산란 층을 검사할 수 있으며, 면도칼이 얇은 선과 미니스컬 (miniscule), 심지어 숨겨진 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구에는 모든 독점 측정 및 결함 감지 알고리즘이 있습니다. 고급 소프트웨어에는 알고리즘 매개변수 조정의 필요성을 줄이는 자동 조정 (auto-tuning) 기능이 포함되어 있습니다. 그 결과, 에셋을 빠르고 쉽게 설정하여 크기 6 나노미터 (6 나노미터) 의 작은 결함을 자동으로 감지하고 특성화할 수 있습니다. 또한, 알고리즘 처리 속도는 이전 세대의 웨이퍼 검사 시스템 (wafer inspection system) 보다 몇 배 빠르며, 보다 경쟁력있는 가격으로 빠르고 안정적인 결과를 제공합니다. 정확한 검사 결과를 얻기 위해 KLA SP1 DLS에는 검증되고 추적 가능한 교정 모델이 있습니다. 장비는 독립적 인 참조 웨이퍼를 사용하여 이상적이지 않은 시스템 성능 또는 환경 변화를 측정하고 수정합니다. 이렇게 하면 시스템의 재구성이 최소 (minimum) 로 유지되고 결과가 지정된 프로세스 표준 (specified process standard) 내에 있게 됩니다. 이 장치에는 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있습니다. GUI를 사용하면 모든 검사 설정 옵션 및 관련 데이터에 빠르게 액세스할 수 있습니다. 직관적으로 선택할 수 있는 도구 (Tools) 와 보고 (Reporting) 기능을 통해 사용자가 관련 데이터를 신속하게 파악할 수 있습니다. 요약하자면, TENCOR SP 1-DLS는 안정적이고 강력한 웨이퍼 검사 머신으로, 뛰어난 이미지 품질, 향상된 정확도, 간편한 설정을 제공합니다. 사용자 정의 (custom) 검출기 설계, 고급 옵틱 (advanced optics) 및 모든 전용 알고리즘을 사용하여 사용자는 이 도구가 정확하고 효율적인 결과를 제공할 것이라고 확신 할 수 있습니다.