판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-DLS #9221448

KLA/TENCOR SP1-DLS는 검사 및 분석 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 옵틱, 대형 시야각 (FOV) 및 초고해상도를 갖춘 KLA SP1 DLS는 마스크 및 웨이퍼 표면에서 표면 관련 결함을 신속하게 식별, 특성화, 분류하는 자동 솔루션을 제공합니다. TENCOR SP 1-DLS의 주요 구성 요소는 Quadray optics를 갖춘 이중 레이저 스캐너 (DLS) 로, 동시에 하향식 스캐닝, 측면 뷰 스캐닝 및 2차원 (2D) 이미지 분석을 지원합니다. 이 시스템은 중요한 결함 정보를 캡처하여 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 표면을 포괄적으로 검사하고 분석할 수 있습니다. 표면 검사를 더욱 최적화하기 위해 SP 1-DLS 는 독점 고급 알고리즘을 사용하여 모양, 크기, 위치, 광학 대비를 기준으로 결함을 분석, 분류합니다. 이 피쳐를 사용하면 서피스 레벨 (surface level) 및 비가시 (non-visible) 결함을 모두 식별하고 분류할 수 있습니다. 또한 TENCOR SP1-DLS는 포괄적인 보고 기능을 제공하여 고품질 사전 정의/맞춤형 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 보고서는 중요한 결함 정보를 상세하게 보고하며, 엔지니어링 팀이 해당 마스크 및 웨이퍼 결함을 신속하게 진단, 평가, 문제 해결하도록 합니다. KLA SP 1 DLS 를 사용하면 다른 소프트웨어 프로그램, 하드웨어 또는 호스트 기반 개인용 컴퓨터와의 원활한 통합을 통해 데이터 관리를 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 실시간 결함 관리 및 걱정스러운 결함 자동 알림이 가능합니다. 또한 탁월한 안정성과 반복성 (repeatability) 을 제공하여 고객은 표면 수준의 결함을 정확하고 자신있게 평가할 수 있습니다. TENCOR SP1 DLS (TENCOR SP1 DLS) 는 업계 최고의 솔루션으로, 정확한 결함 감지 및 분석 기능과 더불어 출시 시기를 단축하는 속도와 효율성을 제공합니다. 이 머신은 포괄적이고 견고한 검사/분석, 다운타임 제거, 수동 검사/분석 (manual inspection/analysis) 관련 비용 절감 등의 이점을 제공합니다. 광시야각 (wide-of-view) 은 다양한 표면 결함을 검사하는 유연성을 제공하는 반면, 고급 광학 및 자동 프로세스는 표면 결함 정확성과 신뢰성을 보장합니다. KLA/TENCOR SP 1 DLS는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 완벽한 솔루션입니다.