판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-DLS #293594481
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KLA/TENCOR/PROMETRIX SP1-DLS는 반도체 제작 프로세스의 결함을 식별하기위한 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최신 기술과 최신 하드웨어/소프트웨어를 갖춘 KLA SP1-DLS 는 운영 라인 이미지 분석을 위한 최고의 선택입니다. 시스템의 핵심 구성 요소에는 듀얼 조명 단계, 광학 렌즈 장치, 고해상도 카메라, 강력한 디지털 이미징 소프트웨어가 포함됩니다. 이중 조명 단계 (dual lumination stage) 는 어셈블리에서 다양한 결함 유형을 감지할 수 있도록 다양한 대비를 생성하는 동적 조명 (dynamic lighting) 을 제공합니다. 다양한 렌즈 (lense) 를 통해 공구는 다양한 배율과 깊이 (field of field) 를 수행할 수 있으므로 확대/축소 (zoom in) 하여 미세한 서브 서피스 세부 (sub-surface detail) 를 포함한 다양한 피쳐 유형을 식별할 수 있습니다. 첨단 고해상도 카메라는 이미지의 캡처 및 처리 능력을 최대한의 선명도 (CLARiX) 와 디테일 (DETE) 로 제공합니다. TENCOR SP1-DLS에는 복잡한 기능을 분석하고 결함을 감지할 수 있는 강력하고 직관적인 디지털 이미징 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 사용자는 검사 프로세스를 손쉽게 사용자 정의할 수 있으며, 모든 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자 정의 알고리즘 및 규칙을 사용하여 자동화된 결함 ID (automated defect identification) 를 제공하여 모델을 정밀하게 정밀하게 결함을 감지하고 분류할 수 있습니다. 이 장비에는 전체 품질 분석/보고 (Quality Analysis and Reporting) 기능이 장착되어 있어 제조 프로세스 (Fabrication Process) 조건에 따라 포괄적인 보고서를 생성할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어는 상세한 시각적 분석 (Visual Analysics) 기능을 제공하여 손쉽게 결함을 모니터링하고 프로세스 성능을 평가할 수 있습니다. 데이터 관리 (Data Management) 기능을 통해 이미지 및 데이터를 저장하여 사후 처리 및 향후 참조를 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 운영 부서와 품질 관리 팀 (Quality Control team) 간에 보고서와 데이터를 공유할 수 있는 도구를 제공합니다. SP1-DLS는 광범위한 반도체 제작 응용 분야에 적합합니다. 강력한 디지털 이미징 기능과 직관적인 사용자 친화적 소프트웨어로, PROMETRIX SP1-DLS는 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장치로서, 생산성 및 품질 관리 결과를 극대화합니다.
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