판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #293594484
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KLA/TENCOR SP1 Classic은 반도체 산업을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급영상화· 광학도량형기술을 활용해 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 검사하는 완전 자동화된 검사 플랫폼이다. 이 시스템은 동시 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 (mask inspection) 를 가능하게 하는 두 개의 독립 채널을 사용하여 훨씬 빠른 검사 프로세스를 지원합니다. KLA SP1 Classic은 고해상도 디지털 CCD 카메라와 고급 옵티컬 기법을 활용한 고급 이미징 장치 (Advanced Imaging Unit) 를 통해 웨이퍼와 마스크를 모두 이미지화합니다. 이 기계는 누락 된 다이 (Dies), 프로세스 결함 (Process Flaw) 및 핀홀 (Pinhole) 에서 선폭 (Line Width) 및 근접 효과 (근접 효과) 와 같은 더 선명한 기능에 이르기까지 다양한 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 이미징 도구는 고급 분석 소프트웨어와 결합하여 결함을 식별하고 분류합니다. 또한 복잡한 패턴과 모양을 검색하여 검색하기 어려운 기능을 식별할 수 있습니다. 자산에는 전기적 결함을 감지 할 수있는 독점적 인 전기 매핑 (electrical mapping) 모델을 포함하여 여러 단계의 자동 샘플 처리가 장착되어 있습니다. 이 장비에는 자동 샘플 처리 및 적재 용 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 과 빠른 웨이퍼 검사를위한 종합 웨이퍼 운송 장치 (Wafer Transport Unit) 도 포함되어 있습니다. 통합 모션 컨트롤 머신 (Integrated Motion Control Machine) 은 카메라와 샘플 스테이지의 정확하고 반복 가능한 움직임을 가능하게 하여 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 간편한 그래픽 환경을 통해 공구 매개변수와 기능을 쉽게 제어할 수 있으며, 상세한 자산 정보 (Asset Info) 및 보고서 (Report) 를 액세스할 수 있습니다. 또한 KLA Remote Service 는 효율적인 사용자 환경을 위한 원격 지원 및 진단 기능을 제공합니다. 이 모델은 시간당 10 만 개 이상의 웨이퍼를 검사 할 수 있으며, 광범위한 결함을 검사하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 장비는 기존 반도체 (반도체) 공정에 손쉽게 통합될 수 있도록 설계되었으며, 다양한 응용프로그램에 이상적인 제품으로 자리잡았다. TENCOR SP 1 CLASSIC (TENCOR SP 1 CLASSIC) 은 웨이퍼와 마스크를 빠르고 정확하며 안정적으로 검사해야 하는 모든 작업에 대해 완벽한 선택입니다.
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