판매용 중고 KLA / TENCOR SLF27 #9298724
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KLA/TENCOR SLF27 (KLA/TENCOR SLF27) 은 혁신적인 독점 스캐닝 기술을 사용하여 모든 이상 또는 불규칙성을 위해 웨이퍼를 스캔하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 특히 마스크 및 웨이퍼 표면의 물리적 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 전문 광검사 (Optical Inspection) 기술을 활용하여 잠재적 문제에 대한 웨이퍼 (Wafer) 또는 마스크 (Mask) 의 기능을 면밀히 분석합니다. KLA SLF27은 Hybrid Optical Scanning Technology를 사용하여 독점 광학이 장착 된 2 개의 카메라를 결합하여 모든 결함의 이미지를 수집합니다. 이 장치는 매우 민감하여 정확하고 효율적인 검사 및 정확한 결함 적용 범위를 제공합니다. 이 효율적인 감지를 통해 기계는 이상이나 결함을 신속하게 파악하고 읽기 쉬운 형식 (easy-to-read format) 으로 표시할 수 있습니다. TENCOR SLF27 (TENCOR SLF27) 은 마스크 또는 웨이퍼 표면을 빠르게 스캔하여 기존 사양과 기존 사양 간의 불일치를 감지할 수 있습니다. 평균 패턴 검사 주기 시간 (0.2-0.4 초) 과 마스크 검사 주기 시간 (0.1-0.2 초) 을 통해 기계는 사양에서 오류 또는 편차를 신속하게 식별할 수 있습니다. 통합된 직관적인 소프트웨어는 간단하고 포괄적인 제어를 통해 데이터를 쉽게 분석할 수 있습니다. 또한 SLF27 도구에는 생산성 향상을 위한 특수 기능이 장착되어 있습니다. 7 인치 (7 인치) 터치 스크린 디스플레이를 이용하면 뛰어난 정확도로 쉽게 스캔하고 검사할 수 있습니다. 하이브리드 OET (Optical Efficiency Tweezers) 를 사용하면 10 미크론 해상도로 각 결함 요소를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 Hi-Resolution 이미징 기술로 결함 크기를 측정할 수 있습니다. KLA/TENCOR SLF27은 고효율, 고급 마스크, 웨이퍼 검사 모델로, 수율 향상 및 검사 최적화에 도움이 됩니다. 하이브리드 OET (Hybrid OET) 와 직관적인 소프트웨어는 빠른 스캐닝 및 분석 시간으로 생산량을 높이고 비용을 절감하는 데 매우 효과적입니다. 이 장비는 안정성이 뛰어나며, 정확한 옵틱과 고해상도 이미징 (hi-resolution imaging) 기술을 통해 결함 요소를 정확하고 정확하게 감지할 수 있습니다. KLA SLF27 시스템은 고품질 제품을 보장하기 위해 모든 반도체 회사에 유용한 도구입니다.
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