판매용 중고 KLA / TENCOR SL515 #9032013
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ID: 9032013
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Mask inspection system, 12"
2 LP, 1 CHM, 1 ARM/1 LP, 1 CHM , 1 Laser
(1) Loadport (Asyst)
Loadports carrier reader: RFID type
Robot: KLA design
Light source: Coherent laser, FRED, ASSY, HP 257nm (SHG of 514nm by the BBO crystal)
Function: Inspection mask surface's haze
Components:
Power condition (for UIC)
UM
Power condition (for UM)
RLS
UIC
Operation con
Operation con (SunBlade 2000)
IAS
KLA 95i
Operation con (printer)
Parts missing:
FRU, MODULE BEAM STAB, 5XX
FRU, MODULE DIFFUSER, 5XX
2007 vintage.
KLA/TENCOR SL515는 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 및 도량형을 사용하여 각 마스크를 검사하고 나노미터 스케일까지 웨이퍼 다운합니다. 빠른 구매 속도로, KLA SL515는 검사 시간을 줄이고 제품의 품질을 향상시킵니다. KLA SL515 고해상도 이미징은 20 인치 디스플레이와 함께 사용되는 디지털 LED 광원을 통해 구현됩니다. 디스플레이는 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 를 명확하게 표시하며 결함을 쉽게 식별할 수 있습니다. 이 장치에는 결함의 크기, 모양 및 분포를 측정하는 통합 도량형 (integrated metrology) 기계도 있습니다. 이 데이터는 나중에 분석 및 비교하기 위해 데이터베이스에 저장됩니다. 이 도구는 또한 자동화된 결함 감지 및 분류 알고리즘으로, 결함을 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. 이 기능은 인간 검사를 제거하여 시간과 돈을 절약합니다. 자산은 공정 제어 (Process Control) 문제를 파악하여 비용이 많이 드는 재작업 및 생산 지연을 초래할 수도 있습니다. TENCOR SL 515 (TENCOR SL 515) 는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 이상적인 솔루션으로, 빠르고 안정적인 데이터와 뛰어난 해상도를 제공합니다. 반도체 제작 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하는 모델로, 고객에게 제공되는 제품이 가장 높은 품질을 자랑합니다 (영문). 자동 결함 감지 (automated defect detection) 및 분류 알고리즘은 또한 비용이 많이 드는 수동 검사를 제거하여 시간과 비용을 절감합니다.
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