판매용 중고 KLA / TENCOR SL303UV #293751660

KLA/TENCOR SL303UV Mask and Wafer Inspection Equipment는 대용량 웨이퍼 프로세스 작업에서 결함이 없는 제품을 개발할 수 있도록 설계된 프리미엄 등급 프로세스 제어 기술입니다. 최신 광학, 동작, 이미징 기술을 활용한 KLA SL303UV 는 제품 품질에 영향을 줄 수 있는 전자광, 열, 기계, 화학, 기타 요소에 대한 웨이퍼 및 마스크를 검사하는 안정적인 수단을 제공합니다. 광 검사는 병렬 및 자동 조정 기능을 모두 제공하는 TENCOR SL303UV 시스템의 핵심입니다. 전용 스캔 헤드는 빠른 스캐닝 (fast scanning) 알고리즘을 사용하여 두 개의 개별 이미징 영역에서 신호 및 노이즈를 모두 캡처하여 데이터를 신속하게 수집합니다. 웨이퍼 이미지 획득 장치 (Wafer Image Acquisition Unit) 는 자동화된 그리드 스캐닝 (Grid Scanning) 과 시각적 마스크 검사 (Visual Mask Inspection) 를 모두 제공하는 반면, 독점 LED 조명기는 이미지 및 피쳐 인식 작업을 검사하기위한 다양한 파장 스펙트럼 및 가변 강도 제어를 제공합니다. 또한 SL303UV에는 사용자가 신속한 의사 결정을 내리고 프로세스를 자동화할 수 있도록 지원하는 내장 비전 (vision) 프로세서 등의 도구가 포함되어 있습니다. 여기에는 향상된 분석 및 일관성을 위해 2D 정렬, 3D 정량화, 색상 분석, 음영 보정 등의 자동 교정 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 고급 이상치 감지, 수차 측정, 자동 결함 평가 프로그램 (automated defect assessment program) 을 통해 잘못된 경보를 줄이는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 검사 기능에는 웨이퍼 기계 프로파일 검사, 열 및 응력 분석, 패턴 인식 및 형태 분석이 포함됩니다. 마스크 검사 기능에는 고배율 이미징, 광학 임계 크기, 공중 이미지 분석, 다중 레이어 결함 감지를 위한 정확한 이미지 복사 등이 있습니다. 에셋은 또한 유전체 얼룩, 입자 또는 긁힘으로 인한 결함 검사를 지원하며, 통합 된 동작 및 광학 (optics) 을 통해 향상된 반복성 및 처리량을 위해 정확한 웨이퍼 위치를 보장합니다. 모니터링 및 제어를 위해 KLA/TENCOR SL303UV는 x/y/z 모션 제어 및 조정 드라이버, 모터 인코더, 모델 광원 및 LED 드라이버를 포함하는 16 채널 컨트롤러를 사용합니다. 컨트롤러에는 결과 해석 및 수정 (correction) 을 위한 다양한 수치 분석 기능도 포함되어 있습니다. 이 장비의 데이터 관리 기능을 사용하면 검사 결과를 편리하게 액세스, 저장, 분석할 수 있으며, 보고서 생성 (Report Generation) 기능을 통해 전문적인 보고서를 작성하여 추가 평가를 받을 수 있습니다. 운영자는 KLA SL303UV 의 고급 하드웨어/소프트웨어 툴을 활용하여 웨이퍼/마스크 프로세스의 결함을 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다.