판매용 중고 KLA / TENCOR SL301 #9251376
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판매
ID: 9251376
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Reticle pattern inspection system, 6"
Inspection options:
Die to die comparison
Contamination inspection
Does not include die to database verification
Single laser illumination source
Bright-field images of transmitted and reflected light
Loader
Main body
Image computer
Database
Transformer
Accessories
Cables
KLA / TENCOR 95: 20 VAC, 50/60 Hz
KLA / TENCOR SL300 IC-IC: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
TRU-STONE Granite blocks
CE Marked
Power: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
1997 vintage.
KLA/TENCOR SL301은 반도체 생산에 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템의 기능은 엔지니어 및 기술자에게 프로세스 제어 및 품질 보증을 보장하는 포괄적인 도량형 (metrology) 기능을 제공합니다. KLA SL301에는 실리콘 웨이퍼, 복합 반도체 웨이퍼, IC 패키지 및 고급 MEMS 구조와 같은 기판을 수용하는 200mm/300mm 검사 챔버가 포함되어 있습니다. 이 장치는 CCD, photoresist 및 low- 및 high-K 유전체 측정을 포함한 다양한 이미징 옵션을 제공합니다. TENCOR SL301 머신은 독점 소프트웨어를 실행하여 실시간 결함 감지를 용이하게하며, 표면 특성을 평가하기 위해 3D 결함 모양을 재구성하기위한 수많은 도구를 제공합니다. 검사의 다양한 단계에는 로봇 암을 통한 수동 기판 로딩, 피쳐 측정, 결함 검사 등이 있습니다. 또한, 이 도구에는 기판 손상 또는 오염을 방지하기 위해 바코드 리더 (barcode reader) 및 라이트 트랩 (light trap) 과 같은 다양한 자동화 장치가 장착되어 있습니다. SL301에는 스캔 중에 제대로 초점을 맞출 수 있도록 AFC (Automated Focus Control) 기능이 장착되어 있습니다. 또한 중요한 결함 해결을 보장하는 향상된 광학 디자인이 있습니다. KLA/TENCOR SL301 자산은 또한 레티클 (reticle) 없이 복잡한 구조의 다양한 기능을 검사 할 수있는 고해상도 원격 센터 렌즈를 사용합니다. 또한, 향상된 성능을 위해 다양한 이미징 도구 (예: MEMS 정전기 척) 와 호환됩니다. 이 모델에는 직관적인 사용자 친화적 GUI 가 포함되어 있어, 사용자가 장비를 빠르고 효율적으로 모니터링, 구성, 분석할 수 있습니다. 또한 각종 측정 패턴 (measuration pattern) 을 통해 사용자의 특정 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 또한, 시스템에는 장비와 운영자를 모든 잠재적 피해로부터 보호하는 몇 가지 fail-safe가 있습니다. 전반적으로 KLA SL301은 모든 생산 환경에 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 다양한 이미지 처리, 결함 감지, 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 엔지니어와 기술자에게 정확한 결함 해결 및 향상된 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 마지막으로, 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 모든 기술 수준의 운영자에 시스템을 쉽게 사용할 수 있습니다.
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