판매용 중고 KLA / TENCOR SL3 #293824682

KLA/TENCOR SL3은 공정 엔지니어, 장비 공급 업체, 패브리스 (Fabless) 반도체 제조 작업을 통해 수익률 및 제품 품질을 향상시킬 수 있도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 리소그래피 및 에칭의 중요한 프로세스 단계에서 웨이퍼를 검사하도록 설계되었습니다. 고해상도 CCD 카메라, 조절 가능한 압력 스테이지, 전동식 Z 스테이지, 자동 정렬 장치, 광원 등 여러 가지 중요한 구성 요소가 있습니다. 고해상도 CCD (고해상도 CCD) 카메라를 사용하면 웨이퍼의 양면을 동시에 볼 수 있으며, 표면 스캔 사진을 최대 4 미크론까지 완전하게 볼 수 있습니다. 조절 가능한 압력 단계 (pressure stage) 는 신뢰할 수있는 이미징에 필요한 압축을 정확하게 유지할 수 있으므로 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 동력 Z 단계는 정확하고 자동화 된 웨이퍼 처리를 제공하여 최소한의 인간 개입으로 검사 할 수 있습니다. 자동 정렬 장치 (Automated Alignment Machine) 는 최적의 초점과 정렬을 보장하며 조명 도구는 정확한 색상 충실도를 보장합니다. KLA SL3 (CLA SL3) 는 툴과 기능의 조합을 통해 여러 수준의 프로세스 통합에서 기능 크기와 결함 위치를 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 자산을 사용하면 프로세스 제어를 개선하기 위해 검사 기준을 사용자 정의하고, 즉석에서 웨이퍼 (wafer) 특성을 평가할 수 있습니다. TENCOR SL3는 생산성, 정확성 및 수율을 극대화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 검사 모델입니다. 탁월한 이미징 기능, 자동 정렬 기능, 고급 기능을 결합하여 반도체 제작을 위한 사용이 간편한 플랫폼을 제공합니다 (영문). 따라서 운영 체제에 대한 주의가 최소화되면서, 빠른 속도, 신뢰성, 정확한 고해상도 검사 (고해상도 검사) 를 통해 사용자는 프로세스 제어 및 수율을 높일 수 있습니다.