판매용 중고 KLA / TENCOR SCD-XT #9228108

KLA/TENCOR SCD-XT는 최대 450mm 직경의 포토 마스크 및 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 밝고 어두운 광원의 조합 인 브라이트 필드 조명 (Brightfield Illumination) 과 패턴 기반 조명을 사용하여 미크론의 10 분의 1 정도의 결함을 정확하게 감지합니다. 이 장치는 모서리 배치 오류 (edge placement error), 선 너비 (line width) 및 형태 결함 (shape defect) 을 감지할 수 있으며 마스크나 웨이퍼 모두 다른 결함 유형을 감지할 수 있습니다. 최대 8 가지 유형의 결함을 동시에 감지할 수 있습니다. KLA SCD-XT 머신은 검사 헤드로 구성되며, 이는 브라이트 필드 조명 및 패턴 기반 조명과 일련의 광학 부품 및 신호 처리 전자 장치로 구성됩니다. 이 도구에는 고해상도 CCD 카메라가 있으며, 이 카메라는 마스크 또는 웨이퍼의 레이어 및 패턴에서 광학 신호를 캡처합니다. 그런 다음 카메라가 이미지 처리 장치 (Image Processing Unit) 에 연결되어 결함을 감지하는 신호를 처리합니다. 검사 (Inspection) 데이터는 내부 데이터베이스에 저장되며, 사용자는 버튼의 터치로 저장된 검사 데이터를 리콜할 수 있습니다. TENCOR SCD-XT 에셋에는 기본 Inspector Suites, 견고한 Vision Studio Suites에 이르기까지 모든 소프트웨어가 포함되어 있어 공장 내 모든 모델의 이미지를 검사할 수 있습니다. SCD-XT (SCD-XT: SCD-XT: SCD-XT: SCD-XT: SCD-XT) 이 시스템은 진동이없는 검사를 제공하는 Granite Stable Structure 기술로 제공됩니다. 이를 통해 사용자는 프로덕션 환경에서도 고정밀 검사를 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 공간 필터링 (spatial filtering) 기술을 제공하여 이미지 데이터를 실시간으로 분석할 수 있으며, 확장된 기능을 위해 추가 감지기 헤드 (detector head) 를 추가할 수도 있습니다. KLA/TENCOR SCD-XT 머신은 안정적이고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 사용하면 쉽게 검사를 탐색하고 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 도구는 또한 사용자 정의가 용이하며, 특정 요구 사항에 따라 자산을 사용자 정의하고, 모델의 기능을 향상시키기 위해 추가 (Addit) 구성요소를 추가할 수 있습니다. 전반적으로 KLA SCD-XT는 안정적이고 강력한 장비로, 최대 450mm 직경의 포토 마스크 및 웨이퍼를 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이 시스템은 브라이트필드 조명 (brightfield illumination), 패턴 기반 조명 (pattern-based lumination) 및 기타 다양한 기능을 사용하여 미크론의 10 분의 1 정도의 결함을 정확하게 감지합니다. 이 장치는 또한 사용하기 쉽고 사용자 정의 가능하며, 사용자가 신속하게 검사를 설정하고 저장된 데이터를 리콜할 수 있도록 합니다 (영문).