판매용 중고 KLA / TENCOR SCD-XT #9220981

KLA/TENCOR SCD-XT는 이미징 및 도량형 기술을 사용하여 반도체 재료를 분석 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 접촉 너비 (예: 크기 경유), 오버레이 정확도 (overlay accuracy) 와 같은 형상에 정확하고 반복 가능한 측정 데이터를 제공하여 프로세스 제어를 향상시키고 주기 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다. KLA SCD-XT (CLA SCD-XT) 는 이미징 및 도량형 기술의 조합을 활용하여 정확도가 높은 결과를 제공하는 고급 검사 장치입니다. 기계의 핵심에는 샘플 표면의 고해상도 이미지를 제공하는 FE-SEM (field-emission scanning electron microscope) 이 있습니다. 이 이미지는 도량형 소프트웨어 (metrology software) 에 의해 분석되며, 이 소프트웨어는 다양한 알고리즘을 사용하여 접촉 너비 (contact width) 및 크기 (via sizes) 와 같은 형상 값을 계산합니다. 이 도구는 또한 구조/표면 특성에 대한 추가 통찰력을 제공하는 다양한 이미징 옵션 (예: 레이저 간섭법 및 색채 공백 현미경) 을 제공합니다. 또한 TENCOR SCD-XT는 기하학을 측정 할 때 정확도를 높일 수 있도록 자동화된 측정 도구 배열을 제공합니다. 이러한 도구에는 이미지 지원 스티칭 및 마스크 정렬, 블라인드 피팅 오버레이 알고리즘, 공정 항복 분석 (process yield analysis) 을 통해 허위 결함을 최소화하고 수율을 최적화할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 문제를 신속하고 정확하게 파악하고 해결할 수 있으며, 디바이스 성능 향상, 주기 시간 단축 등의 효과를 얻을 수 있습니다. SCD-XT는 직관적이고 사용자에게 친숙한 운영자 인터페이스도 제공합니다. 이 자산은 고급 이미지 분석 기능, 자동화 및 최적화 (automation and optimization), 다양한 표준 레시피 라이브러리 (library of standard recipe) 등 다양한 사용자에게 친숙한 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델은 완벽한 사용자 지정 기능을 제공하며, 다양한 플러그인 (plug in) 옵션을 제공하여 장비 성능 및 분석 기능을 확장하여, 고객의 모든 검사 요구에 이상적인 솔루션이 됩니다. 결론적으로, KLA/TENCOR SCD-XT는 최신 이미징 및 도량형 기술을 결합하여 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하는 전문 검사 시스템입니다. 정확도가 높은 측정, 자동 측정 도구, 직관적인 사용자 인터페이스, 사용자 정의 옵션 등을 제공합니다. 따라서 KLA SCD-XT는 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 검사 장치를 원하는 모든 사용자에게 적합한 선택입니다.