판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9308728

KLA/TENCOR Surfscan SP2 Mask and Wafer Inspection Equipment는 반도체 제작 프로세스의 마스크와 웨이퍼를 검사하기위한 고성능, 비용 효율적인 솔루션입니다. 시장을 선도하는 이미지 획득 및 검사 알고리즘을 갖춘 KLA Surfscan SP2는 제품의 정확성과 품질을 보장합니다. 고급 통합 툴로 구성된 TENCOR SURFSCAN SP 2는 데이터베이스 간 다이 측정, 항복 분석, 레이아웃 검토, 결함 분석 등을 지원합니다. 이 시스템에는 이중 광원이 있는 대형 고해상도 영역 스캔 센서, 분산 개체 아키텍처, 자동 기능 인식, 전문가 사용자 생성 검사 시스템, 결함 분류, 지능형 결함 인쇄 등이 있습니다. KLA SURFSCAN SP 2 의 분산 객체 아키텍처를 사용하면 복잡한 장치 매개 변수를 쉽게 구성하고, 관련 장비와의 통신을 관리하고, 타사 구성 요소를 포함하도록 시스템 기능을 확장할 수 있습니다. 내장 템플릿 매칭 엔진에서 자동 피쳐 인식 (Automatic feature recognition) 기능을 사용할 수 있습니다. 이 엔진은 중요한 피쳐를 식별한 다음 올바른 피쳐 배치, 방향, 항성 (starburst) 매개변수 및 구조 분석을 위한 검사를 수행할 수 있습니다. 전문적인 사용자 제작 검사 시스템은 빠르고 일관성 있고 안정적인 프로세스 모니터링을 제공합니다. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2는 또한 계층 통계 라이브러리를 갖춘 포괄적인 결함 분류 계층 구조를 제공하며, 증착 잔류 물 또는 입자와 같은 비 고유 기능에 대한 결함을 업스트림 (upstream) 에 연결합니다. 이 도구의 자동 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 및 이미지 재생 기능은 효율적인 인라인 (in-line) 또는 포스트 프로세스 분석 및 관심 결함의 격리를 지원합니다. 지능형 결함 인쇄를 통해 다양한 잉크젯 (inkjet) 및 레이저 (laser) 프린터 매체에서 고대비 결함 이미지를 얻을 수 있습니다. 이미지 안정화, 자동 가장자리 감지, 이미지 스태킹, 스마트 확대/축소, 이미지 오버레이 등의 추가 기능을 통해 자산 기능 향상, 검사 정확도 극대화 등의 이점을 누릴 수 있습니다. Surfscan SP2는 Windows, Linux, UNIX 및 Sun Solaris 운영 체제를 포함한 다양한 환경에서 프로세스 관리 보고 기능을 제공합니다. 전반적으로 SURFSCAN SP 2 Mask 및 Wafer Inspection Model은 패턴 화 된 박막 연구 생산 응용 프로그램을 위해 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. TENCOR Surfscan SP2는 고급 통합 도구, 전문 사용자 제작 검사 시스템, 완벽한 이미지 정확도, 인라인 (in-line) 또는 사후 (post-process) 분석을 통해 모든 패턴화된 박막 제조 공정에 정말 강력한 솔루션입니다.