판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9206058

KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 첨단 도량형 머신과 정교한 광학 영상장치를 결합한 고해상도 (고해상도) 시스템이다. 다이 레벨 (wafer level) 과 다이 레벨 검사 (die level inspection) 가 가능하며 다양한 기판에서 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 광학 이미징 도구는 고해상도 CCD 카메라와 강력한 스펙트럼 이미징 자산으로 구성됩니다. CCD 카메라는 실리콘, 금속, 폴리머와 같은 다양한 기질의 정확한 영상을 허용합니다. 광학 이미징 모델은 스크래치, 스크래치, 파편, 입자, 선 폭 편차로 둘러싸인 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 도량형 측면에서 KLA INS 3300은 자동 포인트 소스 정렬 장비를 사용하여 라인 너비, 오버레이 (Overlay) 및 민감도 (Sensitivity) 와 같은 중요한 매개변수를 정확하고 빠르게 측정합니다. 이 시스템은 비파괴적 깊이 프로파일 측정, 유전율 측정, 임계 치수 측정에도 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 (Wafer) 및 다이 (Die) 수준의 결함을 자동으로 검사할 수 있는 고급 소프트웨어 패키지도 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 선 너비 변형, 입자 및 이물질, 오버레이 오류와 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 라인 에지 프로파일링 및 측벽 각도 측정을 통해 브리징 결함을 감지 할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR INS 3300은 현대 반도체 제조를 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 광학 이미징 (optical imaging) 과 도량형 (metrology) 시스템의 조합은 장치 검사에 탁월한 정확성과 정밀도를 제공합니다. 또한, 견고한 소프트웨어 패키지를 통해 자동 결함 감지 (automated defect detection) 를 통해 모든 기판 유형에서 가장 높은 수율을 보장합니다.