판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9098958
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KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300은 누락 된 라인, 반바지, 개방, fiducial misalignment 등과 같은 결함에 대한 인쇄 회로를 효율적으로 검사하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 2D 및 3D 검사 기능을 모두 제공하며, 사용자가 결함을 파악하고 제거할 수 있는 강력한 이미징 기능을 제공합니다. 이 시스템은 패턴 인식, 교정, 도량형, 검사와 같은 혁신적인 이미징 기술을 기반으로합니다. 각 이미지는 광학 조건, 결함 크기, 패턴, 위치, 인쇄 회로에 대한 기타 관련 정보 등 여러 속성을 캡처합니다. 그런 다음 이 정보를 사용하여 잠재적 결함을 정확하게 감지합니다. KLA INS 3300은 한 번에 여러 레이어를 캡처, 검색, 측정할 수 있습니다. 레이아웃 제출 이미지와 사용자 정의 WQJ (wafer quality joint) 맵의 자동 생성을 제공합니다. 사용 가능한 여러 옵션에는 선 그레인, 추적/공간 정밀도 및 다이 정렬이 포함됩니다. 또한 ADCD (Automatic Detection of Critical Dimensions) 기능을 사용하면 여러 기판과 레이어에서 치수를 자동으로 스크리닝할 수 있습니다. TENCOR INS 3300은 처리량이 높은 자동 클러스터 검사 스테이션을 갖추고 있습니다. 즉, 클러스터의 모든 디바이스에 이더넷 접속을 통합하여 신속한 이미지 전송 및 데이터 매핑을 지원합니다. 또한 마스크 변경 시간을 최적화하여 운영 비용을 절감합니다. 또한, 생산 검사 시스템은 검사 및 테스트 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다. 빠른 결함 검사를 제공하여 수율이 높고 검사 결과의 정확도가 향상됩니다. 또한 자동 장애 격리 (automated fault isolation) 및 특성 (characterization) 기능을 통해 제조업체가 장애의 근본 원인을 정확히 파악하여 신속하게 해결할 수 있습니다. 결론적으로 PROMETRIX INS 3300은 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. 정확한 결함 감지를 제공하면서 검사를 단순화하고 속도를 높입니다. 최신 반도체 제조 라인에 이상적인 솔루션이 될 수 있는 혁신적인 기능과 높은 처리량 (HT) 기능.
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