판매용 중고 KLA / TENCOR 5200XP #9157118

KLA/TENCOR 5200XP는 반도체 제조 공정의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼 (wafer) 표면의 결함을 감지하고 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 검사 도구입니다. 이 시스템에는 고해상도 디지털 카메라와 대형 AVS (Automated Vision Unit) 가 장착되어 있어 테스트 웨이퍼 이미지를 분석하고 공칭 해상도 0.1 미크론 (Micron) 의 상세한 도량형 데이터를 확보할 수 있습니다. KLA 5200XP는 LSI (Light Scattering Imaging), REI (Reflected Energy Imaging) 및 OBI (Optical Brightness Imaging) 를 포함하여 웨이퍼를 분석하는 여러 기술을 사용합니다. 이러 한 기술 은 고해상도 현미경 으로도 접근 하기 어려운 "웨이퍼 '부면 에서 작은 결함 을 발견 할 수 있게 해 준다. 이 기계는 또한 콘택트 이미징 (Contact Imaging), 웨이퍼 표면의 접촉 높이에서 매우 작은 변화를 측정하는 데 사용되는 기술을 지원합니다. 또한 TENCOR 5200 XP는 결함, 공차 분석, 광학 매개변수 분석 등 다양한 자동 웨이퍼 테스트 및 분석 도구를 사용합니다. 이러한 도구를 사용하면 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 결함을 완벽하게 평가할 수 있으므로 제조 프로세스 (fabrication process) 전에 장치의 적절한 기능에 대한 잠재적 위험 (potential hazard) 이 식별됩니다. 자동화된 도구로서, TENCOR 5200XP는 검사 프로세스를 관리하고 높은 수준의 정확도를 유지하는 데 필요한 인력 (human labor) 을 줄일 수 있습니다. 폐쇄 루프 제조 (closed-loop manufacturing) 기능이 있으며, 이 기능은 시설의 다른 시스템 작동을 제어할 수 있습니다. 또한, 5200XP를 사용하여 웨이퍼 테스트 (wafer test) 및 도량형 데이터를 측정 및 저장하여 현재 프로세스 매개변수에 대한 보다 정확한 평가를 가능하게 할 수 있습니다. 요약하면, 5200 XP는 웨이퍼 표면에 대한 정확하고 고해상도 분석을 제공하기 위해 설계된 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. '자동 테스트 (automated testing)' 및 '도량형 (metrology)' 툴을 통해 결함을 감지하고 측정하여 제작 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 모델에는 또한 고급 비전 기술 (Advanced Vision Technology) 과 폐쇄 루프 (Closed-Loop) 제조 기능이 포함되어 있어 노동력을 줄이고 정확성을 극대화합니다.