판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9229839

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP는 반도체 제작 과정에서 중요한 장치 매개변수를 측정 할 수있는 고속 광 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치의 잠재적 결함을 감지하여 품질 (quality) 과 신뢰성 (안정성) 수준을 유지하도록 설계되었습니다. 최대 8 인치 직경 웨이퍼 및 기판 재료를 검사하며 시간당 최대 2000 웨이퍼 (WPH) 의 고속 속도로 작동합니다. KLA 2138 XP에는 고유 한 4 열 디자인이 있으며 2 개의 독립 채널과 2 개의 동시 검사 사이트가 가능합니다. 따라서 다른 기존 마스크 검사 시스템에 비해 2 배 이상의 이미지 (시간당 최대 160,000 개의 이미지) 를 캡처할 수 있습니다. 또한, 2 개의 병렬 검사 사이트는이 장치가 석판화 또는 임플란트 비교에 필요한 것과 같이 나란히 프로세스 비교에 적합하게 만듭니다. 기계에는 검사 프로세스의 각 단계를 모니터링하는 여러 개의 센서가 있습니다. 여기에는 고급 LER (line-edge roughness) 센서, 간섭계, 감마선 및 파면 감지가 포함됩니다. 이러한 각 센서는 결함을 감지, 분류, 수정하는 데 필수적인 여러 속성을 측정합니다. 또한 TENCOR 2138 XP는 고급 독점 알고리즘 인 DGE (Defect Global Enhancement) 를 사용하여 넓은 지역에서 크거나 작은 크기의 결함을 신속하게 감지합니다. 혁신적인 설계를 통해, DGE 알고리즘은 웨이퍼 배경에서 작은 입자를 구문 분석하고, 결함이 없는 신호 처리 내의 결함을 식별 할 수 있습니다. 이 도구에는 Solar, MEMS, LCD 및 OLED 장치와 같은 대부분의 기판을 검사할 수있는 다양한 소프트웨어 패키지가 있으며, 하위 미크론 해상도로 자세한 결과를 제공합니다. 또한 이미지를 조정하고 수정하여 정확성과 정확성을 보장할 수 있는 통합 3D 보상 (3D compensation) 기술을 제공합니다. 마지막으로, 이 자산에는 보안 파일 시스템이 장착되어 있어 자격 증명 기반의 보안 스토리지 (Secure Storage) 및 데이터 보호 기능이 제공됩니다. 전반적으로 PROMETRIX 2138 XP (PROMETRIX 2138 XP) 는 매우 강력하고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로, 최고의 반도체 장치를 매우 정확하고 빠르게 검사하도록 설계되었습니다. 고급 센서, 전용 알고리즘, 안전한 데이터 보호 (Secure Data Protection) 기능을 갖춘 이 장비는 모든 반도체 파운드리 (Foundry) 가 최고의 품질과 신뢰성을 보장하기 위한 최상의 선택입니다.