판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #121998

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP는 반도체 장치의 생산을 촉진하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 여러 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 심각한 결함을 감지하여 디바이스의 최고 품질을 보장합니다. 이 장치에는 고성능 카메라, 4 채널 레이저 회절 기술, 통합 패턴 인식 및 이미징 프로브가 포함됩니다. 또한, KLA 2138 XP에는 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사에 필요한 유연성과 정확성을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 제품군이 함께 제공됩니다. TENCOR 2138 XP는 단일 카메라 헤드를 사용하여 마스크와 웨이퍼의 이미지를 모두 캡처합니다. 카메라 헤드는 자동으로 검사된 샘플의 배율을 조정하는 디지털 이미지 센서와 광학 (optic) 으로 구성됩니다. 이렇게 하면 작은 피쳐의 고해상도 (high-resolution) 와 더 큰 피쳐의 낮은 배율을 모두 사용할 수 있습니다. 고해상도 이미지를 사용하면 나노 스케일 피쳐를 매우 정확하게 검사할 수 있습니다. 기계에 사용 된 4 채널 레이저 회절 기술은 특별한 감지 감도를 제공합니다. 4 채널 레이저 회절은 여러 레이저 빔을 사용하여 마스크 및 웨이퍼의 미세한 결함을 감지함으로써 작동합니다. 공구는 여러 레이저 빔 (laser beam) 이미지를 함께 처리하여 단일 빔 에셋보다 훨씬 높은 감도를 제공합니다. 2138 XP 의 강력한 패턴 인식 (pattern recognition) 기능을 통해 모델은 심각한 결함과 경계 (non-critical) 결함을 쉽게 식별하고 구분할 수 있습니다. 더욱이, 장비와 통합된 고급 이미징 프로브는 다양한 이미징 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 뒷면 이미징, 표면 텍스처 분석 및 역톤 검사가 포함됩니다. PROMETRIX 2138 XP의 이미징 프로브는 표면 텍스처 및 뒷면 패턴 품질에 대한 매우 정확한 분석을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP에는 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 작업을 위한 강력하고 유연한 다양한 툴이 포함된 포괄적인 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 소프트웨어는 결함 감지, 분류, 자동 마스크 등록, 결함 분류 등의 도구를 제공합니다. 또한 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 메뉴와 인터페이스 (interface) 를 제공하여 시스템 복잡성을 쉽게 탐색할 수 있습니다. KLA 2138 XP는 마스크 및 웨이퍼에 대한 최고 수준의 결함 감지 정확성 및 적용 범위를 제공합니다. 종합적인 소프트웨어 제품군과 결합된 고해상도 카메라, 4 채널 레이저 회절 (diffraction) 기술, 통합 패턴 인식 (pattern recognition) 및 이미징 프로브 (imaging probe) 는 반도체 장치에서 최고 수준의 품질을 보장하기 위해 필요한 도구를 사용자에게 제공합니다.