판매용 중고 KLA / TENCOR MRW 200 #9083812
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KLA/TENCOR MRW 200은 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션을위한 탁월한 성능을 제공하는 고급 기능이있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 Optic 및 하드웨어 구성을 제공하여 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 결함 감지 기능을 제공합니다. 와퍼 결함 샘플을 풀 컬러 고해상도 (최대 5 미크론) 로 검사할 수 있으며, 다양한 검사 작업에서 더 빠르고, 더 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 고급 라벨 프리 감지 (label-free detection) 방법론이 장착되어 있으며, 기존의 검사 현미경에 보이지 않는 결함을 정확하게 식별합니다. 또한 이 기계의 고해상도 이미지 캡처 (high-resolution image capture) 및 분석 (analysis) 기능을 통해 운영자가 웨이퍼 표면의 결함을 더 잘 분류할 수 있습니다. KLA MRW 200은 프로그래밍 가능한 공간 고급 웨이퍼 검사 카메라, 고해상도 레이저 자동 초점 자산, 고속 스캐닝 모터, 고속 고해상도 다이 (die-to-die) 이미지 캡처 및 검사 엔진을 결합한 통합 도구입니다. 이 조합은 매우 정확한 결함 감지 및 분류를 제공합니다. 이 모델의 optics는 뛰어난 안정성과 성능을 제공하도록 설계되었으며, 고해상도, 고속 이미지 캡처 기능을 제공합니다. 스캐너에는 DMD 라이트 엔진 (DMD light engine) 이 장착되어 있어 더 나은 조명과 이미징을 위해 다양한 파장을 조정할 수 있으며, 별도의 각도 (angular) 및 평행 (parallel) 광원은 최적의 결함 식별을위한 다양한 조명 옵션을 제공합니다. 장비에 동력을 공급하는 고속 모터를 통해 부분 (Partial) 또는 전장 (Full-Field) 검사를 동시에 수행할 수 있으므로 대형 웨이퍼 샘플을 더욱 신속하게 검사할 수 있습니다. 카메라에는 듀얼 채널 CCD 시스템이 장착되어 있어 화질과 해상도가 우수합니다. 또한이 장치는 유연한 이미지 분석, 이미지 기반 결함 분류, 전체 표면 결함 감지 (full-surface defect detection) 기능을 제공합니다. TENCOR MRW 200은 또한 여러 가지 운영 모드를 제공하여 다양한 검사 (inspection) 작업을 빠르고 쉽게 수행 할 수 있습니다. 여기에는 전체 필드, 고속, 부분 필드 및 상대 향상 검사가 포함되며, 운영자가 특정 용도에 가장 적합한 설정을 선택할 수 있습니다. 요약하면, MRW 200 (MRW 200) 은 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 머신으로, 다양한 어플리케이션에 뛰어난 성능을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic) 과 하드웨어 구성을 통해 정확하고 안정적인 결함을 감지할 수 있으며, 견고하고 프로그래밍 가능한 설계를 통해 사용자가 빠르고 정확하게 다양한 검사 작업을 수행할 수 있습니다.
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