판매용 중고 KLA / TENCOR MPV-CD #9093155

KLA/TENCOR MPV-CD는 반도체 생산 산업을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 검사하기 위해 자동화된 시스템을 제공하기 위해 모두 함께 작동하도록 설계된 여러 서브시스템으로 구성된 모듈식 (modular) 구조로 설계되었습니다. 이러한 하위 시스템에는 자동 단계, 이미징 장치, 로봇 로더 및 카메라 머신이 포함됩니다. 자동화된 단계 (automated stage) 는 이미징 시스템의 웨이퍼 및 마스크 이동을 촉진합니다. 이것 은 정확성 과 정확성 을 염두 에 두고 만들어져 있으며, "와퍼 '나" 마스크' 를 영상 에 쉽게 배치 할 수 있다. 이렇게 하면 최종 이미지가 선명하고 품질이 높아집니다. 이미징 도구는 냉각된 CCD 어레이 카메라로 구성되어 있으며, 이 카메라는 와퍼 (wafer) 또는 마스크의 고해상도 이미지를 제공합니다. 또한 이미징 에셋에는 줌 (zoom) 렌즈 (zoom lens) 가 장착되어 있어 수작업 없이 이미지 크기와 해상도를 조정할 수 있습니다. 로봇 로더는 웨이퍼 또는 마스크를 한 모델에서 다른 모델로 이동하도록 설계되었습니다. "로봇 로더 '는" 웨이퍼' 나 "마스크 '를 제어 속도 로 움직 일 수 있어서 여러 개 의" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 옮기는 데 이상적 이다. 또한 센싱 (sensing) 및 타이머 (timer) 장비가 장착되어 있어 웨이퍼나 마스크가 올바르게 로드되고 이미지 전송이 성공적으로 완료됩니다. 카메라 시스템은 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 이미지를 캡처하여 이미징 장치로 전송합니다. "카메라 '기계 는 최고 의 정확도 로 만들어져" 카메라' 의 "이미지 '가 최고 의 품질 임 을 보장 해 준다. 또한, 카메라 도구 (Camera Tool) 에는 자동 초점 에셋이 장착되어 있어 이미지가 이미징 모델에 초점을 맞출 수 있습니다. 이미지가 캡처되면, 처리를 위해 이미지 처리 장비에 제출됩니다. 이미지 처리 시스템은 결함, 오염, 이상, 심지어 다이 모양 등 다양한 기능을 감지하고 측정하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 장치는 제어 시스템 (Control Machine) 을 사용하여 각 서브시스템이 효율적으로 동기화되고 실행되도록 합니다. 이 제어 툴을 사용하면 원활한 작업을 수행할 수 있으므로 작업 (task) 을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. KLA MPV-CD는 반도체 생산 산업에 자동화된 솔루션을 제공하기 위해 설계된 최첨단 자산입니다. 반도체 마스크· 웨이퍼 등을 효율적으로 검사할 수 있는 서브시스템 (서브시스템) 도 갖춰져 있어 반도체 생산시설에 이상적인 솔루션이다.