판매용 중고 KLA / TENCOR INS 3000 #9358651

KLA/TENCOR INS 3000 (KLA/TENCOR INS 3000) 은 반도체 업계를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 디바이스 패턴 및 검토가 필요한 기타 세부 기능에 대한 신속한 분석 및 수집 기능을 제공합니다. 이 시스템은 광학 검사 장치 (optical inspection unit), 이미지 수집 기계, 이미지 및 데이터 처리 도구, 데이터 분석을위한 소프트웨어 패키지 등 4 개의 주요 하위 시스템으로 구성됩니다. 광학 검사 에셋은 일련의 오브젝티브 렌즈 (objective lense) 와 이중 파장 레이저 다이오드 (diode) 로 구성되며, 집적 회로 패턴의 상단 표면을 검사, 분석 및 측정하는 데 사용됩니다. 적외선 레이저 파장은 해상도 개선에 사용되며, 가시 파장은 칩 (chip) 표면의 패턴 정밀 이미징을 제공합니다. 이미지 획득 모델은 장치와 패턴의 디지털 이미지를 가져와 디지털 (digital) 형식으로 저장합니다. 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 장비는 패턴의 세부적인 이미지를 캡처하고 저장할 수 있는 높은 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 이미지 및 데이터 처리 시스템 (Image and Data Processing System) 은 분석 및 처리를 위해 획득한 데이터를 분석하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 일반적으로 CPU, 이미지 및 패턴 인식 시스템, 디지털 신호 처리 시스템 등의 하드웨어 구성 요소가 포함됩니다. 소프트웨어 패키지에는 장치 패턴 및 기타 상세 기능의 높은 정확도 분석, 디스플레이를 위한 애플리케이션별 소프트웨어 (application-specific software) 프로그램이 들어 있습니다. 여기에는 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있는 소프트웨어가 포함됩니다. 소프트웨어 패키지는 데이터 분석 및 통계를위한 도구도 제공합니다. KLA INS 3000은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 통합 환경을 제공합니다. 다목적 설계와 첨단 기술은 장치 패턴과 데이터를 검사하고 분석하는 데 있어 빠른 속도와 정확성을 제공합니다 (영문). 반도체 업계에서 결함 우려, 장치 특성, 입자 감지, 등록 측정, 도량형 등 광범위한 응용 분야에 널리 사용됩니다.