판매용 중고 KLA / TENCOR INS 3000 / 3300 #9195887

KLA/TENCOR INS 3000/3300은 마스크 및 웨이퍼 검사용 자동 장비로, 고급 성능 및 일관성을 위한 골드 표준입니다. 3D 풀 필드 이미징 서브시스템의 강력한 기능과 2D 웨이퍼 (wafer) 및 결함 이미징 (defect imaging) 의 유연성을 결합하여 종합적인 검사 시스템을 제공합니다. KLA INS 3000/3300은 최신 고해상도 이미징 및 검사 기술을 활용하여 매크로 (macro) 및 마이크로 (micro) 스케일에서 결함 및 웨이퍼 지형의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 이를 통해 마이크로 일렉트로닉 컴포넌트를 검사하고 웨이퍼 형상을 제어할 때 정밀도와 정밀도를 높일 수 있습니다. 자동 웨이퍼 스캐닝은 또한 고속 CNC 기술을 사용하여 정확한 측정과 높은 처리율을 보장합니다. 3D 이미징 하위 시스템은 웨이퍼 지형 및 결함 위치의 정확한 3D 재구성을 캡처합니다. 이것은 KLA 독점 웨이퍼 정렬 장치와 결합하여 결함 위치의 서브 미크론 정확도를 달성합니다. 이 시스템의 이미징 데이터 (Imaging Data) 는 결함에 대해 자세히 조사되며, 라이브러리 참조 표준과 비교됩니다. 이 도구는 넓은 웨이퍼 영역에 대한 결함의 현미경 수준 해상도를 허용합니다. 2D 결함 이미징 에셋은 나노미터 (nanometer) 수준에서 결함 및 관련 피쳐에 대해 고정밀 평가를 가능하게 합니다. 이 이미징 모델은 탁월한 해상도 및 결함 가시성을 가능하게 하며, 감지 수준은 10nm 수준보다 훨씬 낮습니다. TENCOR INS 3000/3300 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 업계 최고의 시스템 중 하나입니다. 다양한 이미지 처리/결함 감지 기능을 통해 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다 (영문). 최고 품질의 결과를 제공하고, 비용이 많이 드는 수동 샘플링 및 검사를 제거합니다. 많은 업계에서 R&D 및 대용량 생산에 이상적인 선택입니다.