판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS CI-T120 #293758434
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KLA/TENCOR/ICOS CI-T120은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고급 검사 기술을 결합하여 업계 최고의 이미징 기능을 제공합니다. 이 시스템은 Digital Metrology 기술을 사용하여 photomask, reticle 및 wafer 레벨에서 패턴의 자세한 이미지를 캡처합니다. 이를 통해 개별 칩 (chip) 과 글로벌 레벨 (global level) 에서이 장치를 정확하게 측정 및 검사 할 수 있습니다. 이 장치에는 전자 빔 기술을 사용하여 패턴, 결함 및 기타 기능에 대한 정보를 캡처 및 저장하는 FPDS (Mask and Photo Defect Acquisition Machine) 가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 독점 패턴 인식 (Pattern Recognition) 소프트웨어와 자동 분석 소프트웨어 (Automated Analysis Software) 가 포함되어 있으므로 에셋이 결함 및 피쳐를 정확하게 식별, 측정 및 분류 할 수 있습니다. KLA CI T120 검사 모델에는 4 차 Image Acquisition 단계가 추가되어 각 패턴 내에서 고밀도 기능과 세부 사항을 효율적이고 정확하게 검사할 수 있습니다. 또한 패턴 인식, 측정 및 분류 프로세스를 자동화하는 향상된 PIS (Pattern Identification Equipment) 가 있습니다. ICOS CI T 120 시스템은 또한 더 큰 FOV (Field of View) 를 사용하여 여러 웨이퍼 크기를 지원하므로 프로세스 처리량이 증가하고 분석이 빨라집니다. ICOS CI-T120은 웨이퍼 맵, 입자 또는 결함 캡처, 자동 결함 수정 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 또한, 중요한 시간에 민감한 작업을 지원하는 고속 데이터 처리 기능도 포함되어 있습니다. 마지막으로, ISS (Integrated Saturation Scanning) 기능은 높은 패턴 밀도의 영역을 올바르게 검사하고 검사합니다. ICOS CI T120은 고급 이미징 기술을 활용하여 탁월한 정확성과 성능을 제공하는, 강력하고, 안전하고, 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 고정밀 검사가 필요한 모든 산업 응용 프로그램에 이상적입니다.
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