판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #9312490

KLA / TENCOR / ICOS CI 9450
ID: 9312490
Lead scanner.
KLA/TENCOR/ICOS CI 9450은 포토 마스크 및 웨이퍼의 품질 보증을 위해 설계된 비전 검사 장비입니다. 포토 마스크 (photomask) 와 인쇄된 웨이퍼 (wafer) 의 표면에서 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 검사에 동일한 표본의 여러 조명원과 다중 뷰 (multiple view) 를 사용합니다. 고해상도 카메라는 표본의 이미지를 캡처하는 반면, 강력한 소프트웨어 (software) 알고리즘은 이미지를 분석하여 결함을 감지합니다. KLA CI 9450은 CBO (Calibrated Binary Optics) 기술을 사용하여 정확하고 반복 가능한 결함 감지를 보장합니다. 이 기술을 사용하면 높은 정확도로 결함을 식별, 계산, 분류 할 수 있습니다. 또한, 입자와 패턴 관련 결함을 구별 할 수 있습니다. ICOS CI-9450은 현재 및 미래의 Critical Dimension Scanning Electron Microscopy (CD-SEM) 및 Mask Metrology 시스템의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 특허를받은 기술을 통해 0.6 미크론의 결함을 감지 할 수 있습니다. 픽셀 기반 패턴 인식, 대비 측정, 동적 범위 분석, 결함 감지를 위한 에지 감지 알고리즘의 조합을 사용합니다. 또한 높은 처리 속도에서 잘못된 알람 자유 검사 환경을 제공합니다. 시간당 최대 200 웨이퍼, 시간당 최대 5000 평방 인치의 포토 마스크를 검사 할 수 있습니다. 이 장치의 작은 설치 공간은 자동 검사를 위해 생산 라인 (production line) 에 통합 될 수 있습니다. KLA CI-9450 (KLA CI-9450) 은 정확성과 정확도가 뛰어난 신뢰할 수 있는 검사기가 필요한 프로덕션 라인에 이상적인 옵션입니다. 첨단 기술과 기능으로 반도체· 사진기술업계의 품질 보증 (quality assurance) 과제에 이상적이다.
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