판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #293614776
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KLA/TENCOR/ICOS CI 9450 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 기술에 사용되는 마스크, 레티클 및 웨이퍼를 검사하도록 설계된 고급, 고정밀 자동 시스템입니다. 이 제품은 광학 검사, 이미지 분석, 자동 결함 평가 (Automated Defect Evaluation) 등 여러 기술을 결합하여 검사된 모든 마스크 또는 웨이퍼가 최고의 품질 표준을 충족하도록 합니다. KLA CI 9450 의 통합 광 장치 (Optical Unit) 에는 최상의 이미지 해상도와 정확도를 제공하기 위해 선택적으로 배치할 수있는 고배율 목표, 저배율 목표 및 줌 렌즈가 포함됩니다. 간섭계 (Interferometric) 단계는 시간에 따라 높은 수준의 정확성과 반복성을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 광대역 LED (LED Light Source) 및 링 LED (Ring LED) 조명기를 포함한 여러 조명기가 장착되어 있어 결함 해상도에 최적의 화질과 대비를 제공합니다. 이미지 분석 (Image analysis) 은 마스크 및 웨이퍼 검사를 최적화하고 다양한 유형의 결함 분류를 지원하도록 설계된 사용자 정의 도구 (custom tools) 와 알고리즘을 기반으로 합니다. 자동 결함 평가는 두 가지 유형의 디포커스 시스템 (통합 고정밀 디포커스 도구 및 하이브리드 디지털/아날로그 디포커스 자산) 에 의해 처리됩니다. 두 시스템 모두 탁월한 성능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 결함 분류를 보장합니다. 이 모델은 또한 시간 경과에 따른 신뢰성 및 정확성 극대화, 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI), 편리한 작업 자동화 (Task Automation) 를 보장하는 자동화된 교정 기능 등 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 또한 ICOS CI-9450 은 기존 운영 및 검사 시스템과의 통합을 용이하게 하며, 능률적인 운영, 향상된 주기 시간, 최고 효율성을 제공합니다. 요약하면, TENCOR CI 9450은 반도체 업계에서 가장 높은 품질과 신뢰성 표준을 보장하는 데 도움이 되는 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비입니다. 최첨단 옵티컬 기능, 이미지 분석 기능, 자동 결함 평가 (Automated Defect Evaluation) 기능을 통해 웨이퍼와 마스크가 최고 수준의 성능과 안정성을 충족할 수 있습니다.
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