판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #293614775
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KLA/TENCOR/ICOS CI 9450은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크 및 반도체 웨이퍼의 결함이 가장 작습니다. 이 시스템은 Optics Unit (Optics Unit) 과 Control Processor (제어 프로세서) 의 두 가지 하위 시스템으로 구성되어 있어 빠르고 안정적인 결함 감지 기능을 제공합니다. Optics Machine (Optics Machine) 은 최대 이미지 해상도를 허용하는 통신 렌즈, 마스크 또는 웨이퍼를 정확하게 배치하는 전동 XYRZ 단계, 고해상도, 저소음, 광학적으로 최적화된 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 광학 자산에는 광학 광원 (optical light source) 이 장착되어 있어 광시야각 (field-of-view) 과 컬러 이미징 (color imaging) 이 있어 다양한 검사 작업에 적합합니다. 제어 프로세서 (Control Processor) 는 데이터 로깅 및 분석, 검사 프로세스 프로그래밍 및 제어를 위한 강력한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 간편한 프로그래밍을 위한 웹 기반 사용자 인터페이스 (Web Based User Interface), 결함 감지 모니터링을 위한 직관적인 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 및 복잡한 결함 감지 작업을 처리하기위한 고급 알고리즘 (Advanced Algorithms) 이 있습니다. 또한, 종합적인 감지 알고리즘 라이브러리 (library of detection algorithm) 와 사용자 지정 검사를 위한 개방형 API (open API) 로 구성할 수 있습니다. 이 모델은 최대 감도 및 빠른 검사 시간을 위해 통합 SPD (Silicon Photon Detector) 로 구동됩니다. SPD는 결함 탐지의 높은 동적 범위 (dynamic range) 및 반복 가능성 속도를 제공하여 결함 감지 정확도를 향상시킵니다. 장비는 50nm에서 2um 이상의 크기 인 결함을 감지 할 수도 있습니다. KLA CI 9450 은 비용 효율적이고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션으로, 다양한 제조 요구 사항에 적합합니다. 고품질 (High Quality) 과 신뢰성을 보장하기 위해 결함을 찾는 데 가장 어려운 경우에도 감지할 수 있도록 설계되었습니다. 뛰어난 성능과 정확성으로, 제조업체는 신뢰할 수 있는 고품질 전자 제품을 생산할 수 있습니다.
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