판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #293614774
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KLA/TENCOR/ICOS CI 9450은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 처리량이 높고 정확도가 뛰어난 포토 마스크 (photomask) 또는 다이 (die) 의 결함을 감지하고 분석할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 20 메가 픽셀 (20 메가 픽셀) 의 해상도로 마스크와 웨이퍼에서 가장 어려운 결함까지도 감지하고 식별 할 수있는 고해상도 카메라가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 고급 광원과 광학이 포함되어 있어 가시성과 디테일이 높습니다. 또한, 듀얼 헤드 구성은 검사 시간을 줄이고 수율을 향상시킵니다. KLA CI 9450 (KLA CI 9450) 은 가장 작은 크리티컬 (critical) 기능에서부터 넓은 영역의 결함까지 다양한 크기의 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 정밀도 나 시력 을 상실 하지 않고, 전체 "웨이퍼 '를 검사 할 수 있다. 이 검사 도구는 자동화된 도구 (automated tools) 와 보조 도구 (assisted tools) 의 조합을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 결함, 정확한 프로세스 제어를 빠르고 쉽게 평가할 수 있습니다. 컴퓨터에는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 에셋을 쉽게 작동시키고 모든 결함을 시각화할 수 있습니다. ICOS CI-9450은 사진 마스크, 웨이퍼 레티클, 석판 마스크 및 레티클, 쿼츠 및 금속을 포함하여 광범위한 마스크 및 웨이퍼 재료를 검사 할 수 있습니다. 또한이 모델은 고급 소프트웨어 알고리즘 (advanced software algorithm) 을 통합하여 이러한 재료를 정확하게 분석 할 수 있습니다. 이 시스템의 최종 이점은 TCO (소유 비용) 절감 및 처리량 향상입니다. 또한 이 장비에는 자동 결함 분류 (Automatic Defect Classification), 고급 색상 디스플레이 (Advanced Color Display) 와 같은 정교한 내장 기능이 포함되어 있어 모든 결함을 명확히 볼 수 있으며 일반, 단일 요소 및 체계적인 결함을 구분할 수 있습니다. 또한, 빠른 검사 시간과 정확성 때문에, 이 시스템은 운영 라인 및 대용량 검사 어플리케이션에 이상적이며, 사용자가 운영 비용을 절감하고, 생산량을 극대화하고, 자원을 최적화할 수 있습니다.
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