판매용 중고 KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY #9292415

KLA/TENCOR FRJ CHANGER ASSY는 복잡한 집적 회로의 효율적인 생산을 위해 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 완전 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 모듈 식 이중 암 로봇 처리 장치 (Modular Dual-Arm Robotic Handling Unit) 를 중심으로 구축되어 여러 워크플로 (한 번에 하나의 작업만 가능) 와 프로세스 모듈 간에 마스크와 웨이퍼를 로드, 언로드 및 변경하기 위한 단일 로봇 제어 카세트 체인저를 지원합니다. 이렇게 하면 조밀하게 로드된 워크숍에서도 최소한의 지연과 높은 처리량을 보장할 수 있습니다. "로봇 '이 사용 하는" 척' 들 은 "마스크 '와" 웨이퍼' 를 쉽고 빠르게 적재 하고 적재 할 수 있도록 설계 되었다. 이 기계에는 마스크 웨이퍼 상호 참조, 정렬 및 검사를 위한 상세한 사용자 인터페이스도 장착되어 있습니다. 직관적인 도구 인터페이스는 작업을 직관적으로 운영자로 탐색하도록 설계되었습니다. 또한 전체 자산 레이아웃, 장비, 프로세스, 품질 보증 보고서에 대한 자세한 이미지를 제공합니다. 이 모델은 또한 통합 비전 장비 (Integrated Vision Equipment) 를 갖추고 있으며, 가면과 웨이퍼의 빠르고 정확한 측정 및 검사를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스의 위험을 줄이고 프로세스 수익률을 높일 수 있습니다. 기본 프로세스 자동화 아키텍처는 가장 엄격한 운영 요구 사항에 맞게 최적화되어, 노출, 정렬, 분류 등 매우 정밀하고 자동화된 중요 프로세스 (critical process) 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 KLA 독점 양도 차 개념에 의한 웨이퍼 전송 (wafer transfer by KLA proprietary transfer-car concept) 과 같은 클린 룸 특정 기능을 지원하며, 이 과정에서 오염을 줄입니다. TENCOR FRJ 장치는 또한 높은 정확성과 반복 가능한 프로세스 제어 측정이 가능한 통합 도량형 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 위험 요소를 줄이고 생산량을 향상시키기 위해 프로세스 매개 변수를 빠르고, 정확하게 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 신뢰성이 높고, 손쉽게 유지 관리할 수 있으며, 운영자가 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 안전하고 효율적인 방법을 제공합니다. 정확하고 일관된 작동과 결합된 짧은 전환 시간은 KLA FRJ CHANGER ASSY를 마스크 및 웨이퍼의 지속적인 흐름 생산을위한 이상적인 솔루션으로 만듭니다.