판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-5400 #9118978

KLA/TENCOR FLX-5400 은 첨단 검사 기술을 활용하여 정확하고 안정적인 결함 감지 및 분류를 제공하는 고성능 마스크/웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 대용량 웨이퍼 (wafer) 구성 및 마스크 구성 환경을 모두 수용하도록 설계되었습니다. KLA FLX-5400 은 광 검사 모듈과 디포커스 감지 모듈로 구성된 이중 필드 유닛입니다. 광 모듈에는 조명 및 광학 이미지 획득을 위한 초고속 LED (Ultra Fast LED) 어레이가 포함되어 있으며, 기능 패턴을 검사하기 위해 설계되었습니다. 디포커스 탐지 모듈 (defocus detection module) 은 고급 광학 렌즈 머신 (optical lens machine) 을 사용하여 웨이퍼 구조에서 매우 작은 결함을 감지합니다. TENCOR FLX 5400 은 많은 수의 웨이퍼를 검사하는 경우에도 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 툴에는 고속 스캐닝 헤드 (Scanning Head) 와 고용량 데이터 프로세서 (Data Processor) 가 모두 장착되어 있어 유연하고 효율적인 반도체 제조 공정이 가능합니다. 자산은 0.5 마이크로미터까지 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR FLX 5400에는 세분화된 결함 분류 기능이 제공됩니다. 이 기능을 사용하면 모델에서 검색된 결함을 여러 클래스로 그룹화하여 검사 후 분석을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한, 장비의 소프트웨어 알고리즘은 결함 보고 정확성을 향상시키기 위해 조정됩니다. TENCOR FLX-5400 은 시스템 보정을 자동화하고 네트워크 연결 원격 모니터링 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 종합적인 웨이퍼 분석 및 보고를위한 통합 전체 기계 분석 도구를 제공합니다. 소프트웨어 측면에서 FLX 5400 은 고급 결함 특성 및 도량형을위한 강력한 고급 분석 툴을 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스를 통해 터치스크린 작업, 아이콘 기반 메뉴 구조, 강력한 백엔드 데이터베이스 등의 다양한 기능을 활용할 수 있습니다. FLX-5400 은 다국어 사용자 지원과 글로벌 액세스 (Global Access) 를 모두 지원하므로 글로벌 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 최적의 솔루션입니다. 이 도구는 SEMI 표준을 포함한 여러 표준 (normative standard) 을 준수하므로 사용자는 신뢰성을 신뢰할 수 있습니다. 전반적으로 KLA FLX 5400 은 강력하고 정확한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 자산으로, 반도체 제작 과정에서 품질이 보장됩니다. 자동화된 모델 보정, 결함 분류, 비용 효율적인 운영 등 강력한 기능을 갖춘 KLA/TENCOR FLX-5400 은 Wafer 및 Mask 검사 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.