판매용 중고 KLA / TENCOR Ex20XP #9200289
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ID: 9200289
빈티지: 2002
Wafer inspection system
Front end includes:
BROOKS AUTOMATION:
702-0001-01 ATR8 Robot (KLA P/N: 750-614718-000)
002-9400-04 Series 8 controller
002-7391-08 Pre-aligner (KLA P/N: 750-614710-000)
002-7800-05 200mm Load port (KLA P/N: 750-614043-000)
002-7200-14 300mm Load port (KLA P/N: 750-614044-000)
Console station:
Sun microsystems control computer (KLA 740-616732-001)
Motorola MVME 2400 PCB (KLA 740-614883-000)
MVC Sierra PCB
KLA 710-614256-002
KLA 710-611867-002
KLA 710-609995-003
(2) KLA 710-610391-000
KLA 710-610522-000
KLA 710-604769-003
KLA 710-604769-001
KLA 710-612545-004
KLA 710-607901-002
KLA 710-603180-003
KLA 710-609086-002
KLA 710-610801-001
Main body:
VARIAN Turbo-V 550 turbo pump & controller
BROOKS AUTOMATION 003-1600-18 magnatran 7 robot
Liebert datawave 1 power line conditioner
2002 vintage.
KLA/TENCOR Ex20XP는 마스크 및 웨이퍼 (Wafer) 제품에 대한 검사 및 검토 기능을 갖춘 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 고급 시스템 (advanced system) 은 전자 회로 제작에 사용되는 웨이퍼 마스크 (wafer mask) 와 기판 같은 마이크로 일렉트로닉 부품의 품질과 성능을 보장하기 위해 사용됩니다. 이 장치에는 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 및 완벽한 자동화 기능을 위한 내장형 카메라가 포함된 컴팩트한 디자인이 있습니다. KLA Ex20XP는 특허를 받은 멀티 센스 (MultiSense) 기술과 쌍을 이루는 이중 발병 광학 설계를 사용하므로 다양한 조명 모드, 명암비 옵션, 멀티 레벨 줌 (multi-level zoom) 을 통해 높은 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 기계는 또한 최대 1 나노미터 (nanometer) 의 정확도로 결함을 감지, 분류 및 측정 할 수있는 고급 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 도구는 어플리케이션별 통합 냉각 자산, 모듈식 설계, 향상된 검사 유연성을 통해 안정성이 뛰어납니다. 강력한 온도 조절 (temperate control) 및 대규모 스토리지를 통해 일상적인 작업을 비교적 쉽게 실행할 수 있습니다. 또한 TENCOR Ex20XP (TENCOR Ex20XP) 는 물리적 테스트 명령을 시뮬레이션하려는 결함을 분석하는 고급 분석 도구를 제공하며, 여러 운영 영역에 걸쳐 최적화된 워크플로우를 제공합니다. 완전 통합 자동화 모델 인 SensePro는 Ex20XP의 통합 소프트웨어입니다. 이 정교한 소프트웨어 장비 (processing and archiving engine) 에는 측정 프로세스를 간소화하고, 검사의 모든 측면을 지능적으로 계산하고, 자동화하고, 측정을 저장하고, 카탈로그화하는 효율적인 방법이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 또한 추적 가능성, 반도체 항복 분석, 결함 분석, 온보드 캡처 (on-board capture) 와 같은 고급 소프트웨어 수준의 작업을 수행 할 수 있습니다. 전반적으로, KLA/TENCOR Ex20XP는 고급, 신뢰성, 사용하기 쉬운 마스크 및 웨이퍼 검사 장치이며, 매우 정확한 결함 감지 및 분석을 가능하며, 반복성이 뛰어납니다. 강력한 설계, 통합 카메라, 고급 자동화 기능을 갖춘 KLA Ex20XP는 모든 전자 생산 어플리케이션 (Electronic Production Application) 에 이상적인 기계입니다.
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