판매용 중고 KLA / TENCOR EV300 #9399037

KLA/TENCOR EV300은 광범위한 결함을 감지, 특징 지정, 수정하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 광학 이미징, 프로그래밍 가능한 결함 검토, 결함 방지, 수정 자동화 기술을 결합하여 뛰어난 웨이퍼 검사 성능을 제공합니다. 이 장치의 광학 이미징 기술은 0.25 미크론의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 매우 민감 한 영상기 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 무늬 를 검사 하는 데 최적화 되어 매우 정확 한 검사 결과 를 얻을 수 있다. 이 도구의 프로그래밍 가능한 결함 검토 도구를 사용하면 다양한 결함을 자동으로 감지 및 분류할 수 있습니다. 이 도구는 다른 유형 중에서 이동, 흐림, 스티칭 및 OPC 결함을 감지하고 분류하도록 프로그래밍됩니다. 이 자산은 또한 검출된 결함을 검사하고 수정하는 동안 허위 (false positive) 의 수를 줄이는 결함 회피 기술 (defect avoidance technology) 을 특징으로합니다. KLA EV 300에는 정교한 교정 자동화 기술도 포함되어 있습니다. 이 기술은 패턴 위치, 방향 변경, 청소 등의 수정 작업을 자동으로 수행하는 데 사용됩니다. 이 수정 프로세스는 결함이 없거나 방치 (unattended) 되어 있지 않도록 최적화됩니다. 이 모델에는 장비 부품 간 데이터 교환을 용이하게 하는 보안 통신 인터페이스 (secure communication interface) 도 있습니다. 이를 통해 SEMVisionTM 제품군 및 ALINX 자동 결함 검토 시스템과 같은 다른 KLA 시스템을 통합 할 수 있습니다. TENCOR EV-300 장치는 최고 수준의 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 검사 성능을 제공하도록 설계되었으며, 디바이스가 결함이 없으며 운영 준비가 되어 있습니다. 따라서 이 기계는 연구 및 산업 생산 환경 모두에서 사용하기에 적합합니다.