판매용 중고 KLA / TENCOR EV300 #9191448
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ID: 9191448
빈티지: 2002
Defect review system
Open cassette
With GENMARK single end-effector robot
Cassette type: Dual open cassette, 8"
Camera: High & Low MAG
With EDX in box and line conditioner
With Dry pump console powered box and vac-pump included
2002 vintage.
KLA/TENCOR EV300 (KLA/TENCOR EV300) 은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 최고 품질의 반도체 부품을 보장합니다. 이 제품은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 생산 모두에서 기능을 측정, 검증 및 확인할 때 뛰어난 성능을 제공합니다. KLA EV 300의 주사 전자 현미경 (SEM) 기술은 마스크 및 웨이퍼 층 모두에서 생산 결함의 발견 및 분리를 가능하게합니다. 해상도는 기존 광학 이미징 시스템보다 훨씬 큽니다. 이를 통해 TENCOR EV-300은 측정 정확도와 처리 속도가 향상되어 더 큰 패턴 크기를 검사할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR EV-300의 독점 FocSEM 알고리즘은 뛰어난 이미징 해상도를 제공하여 기존 REI 시스템에서 감지되지 않은 결함을 쉽게 감지 할 수 있습니다. KLA EV300 장치는 또한 마스크 및 웨이퍼에 선, 모서리, 비아, 접촉 패드, 와이어를 포함한 다양한 기능을 동시에 검사할 수 있습니다. 또한 spacer 및 alignment-per-die 모두를 검사하는 검증 알고리즘이 내장되어 있습니다. KLA/TENCOR EV 300 기계에는 마스크와 웨이퍼에서 각 패턴의 픽셀 레벨 정확성을 허용하는 KLA 독점 ScanType 레이아웃 측정 솔루션 (STM) 도 포함되어 있습니다. 또한 EV-300의 Renalogix 검사 스위트는 심각한 결함, 항복 모니터링 및 도구 성능 추세에 대한 철저한 검사/실패 분석을 제공합니다. TENCOR EV300에는 다양한 특수 도구가 포함되어 있습니다. 이러한 특수 소프트웨어 패키지는 마스크 및 웨이퍼 패턴에 대한 추가 분석을 제공합니다. TENCOR DAS (Defect Analysis Solution) 모듈은 결함 데이터를 분석, 분류, 필터링하는 편리한 솔루션으로, 마스크 및 웨이퍼의 결함 및 크기, 모양, 위치, 방향에 대한 자세한 정보를 제공합니다. KLA/TENCOR ACS (Alignment Certification Suite) 는 초기 설계에서 크기, 회전 및 위치 이동을 측정하는 기능뿐만 아니라 정렬 오류를 분석하는 시각 형상 도구를 제공합니다. EV 300은 최신 프로세스 제어 및 품질 보장에 필요한 고급 소프트웨어 및 하드웨어 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 자동 단계 교정, 웨이퍼 크기 감지, 웨이퍼 선택성, 패턴 감지, 정방향/역방향/반사 패턴 스티칭, 자동 결함 분석 및 보고, 고급 검사 알고리즘 및 소프트웨어와 같은 강력한 제어 기능 조합이 포함됩니다. 이러한 모든 기능은 TENCOR EV 300을 강력하고 효과적인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로 만듭니다. EV300 은 매우 자동화되어 있고 사용하기 쉽기 때문에, 기존 운영 프로세스에 신속하게 통합될 수 있습니다. 또한 구성 가능한 기능 (feature set) 의 결과로 새로운 프로세스 문제를 해결할 수 있습니다. 이 모델에서 사용자는 자사의 제품이 가장 엄격한 품질 (Quality) 표준을 충족하는지 확인할 수 있습니다.
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