판매용 중고 KLA / TENCOR eS805 #293641968

KLA/TENCOR eS805 Mask and Wafer Inspection System은 오늘날 반도체 생산 라인에 대한 결함, 프로세스, 도량형 마스크와 웨이퍼 검사에 탁월한 성능 및 신뢰성을 제공합니다. KLA eS805 는 고급 프로세스 노드의 엄격한 요구 사항을 충족하는 데 필수적인 개발, 특성, 디버그, 운영 제어 기능을 제공합니다. TENCOR eS805는 SEM 이미징 (SEM Imaging) 및 우수한 다변량 분석 기능을 포함한 고급 인라인 (in-line) 프로세스 제어 기술을 결합하여 고객이 직접 레시피를 개발하거나 공장 제공 레시피를 활용하여 장치를 올바르게 검사할 수 있도록 합니다. 엔진 최적화 및 조정 가능한 매개변수가 효율적인 QAP (Quantum Algorithm Processor) 를 활용하여, 광범위한 프로세스 제어 문제를 해결할 수 있습니다. 유연한 구성을 위해 설계된 eS805는 생산성 향상을 위한 웨이퍼 크기 선택, 이미지 품질 향상을 위한 HR-SEM (High-Resolution SEM), 대용량 커버리지 영역을 위한 High Power Laser 등 여러 가지 현장 업그레이드 옵션을 제공합니다. KLA/TENCOR eS805는 또한 다양한 로트에서 균일성을 개선하기 위해 MZPO (Multi-Zone Projection Objective) 와 측면 조명을위한 Side-View Detector 등 여러 주변 장치를 지원합니다. 또한, KLA eS805 는 광범위한 소프트웨어 유틸리티를 제공하여 고객이 손쉽게 생산량을 모니터링하고, 제품의 추적성을 확립하고, 프로세스 문제를 신속하게 파악할 수 있게 해 줍니다. TET (Traceability Enhancement Tool) 를 사용하면 여러 웨이퍼, 소스 및 로트에서 입자 진화를 모니터링할 수 있습니다. 인체공학적으로 향상된 MOTIF ™ 사용자 인터페이스에는 주문형 뷰, 통계, 디스플레이 등 검사 결과를 처리, 표시하기 위한 고급 알고리즘이 있습니다. 이 시스템에는 오프라인 검토 및 분석 기능도 있습니다. TENCOR eS805 (TENCOR eS805) 는 다양한 검사 작업을 수행할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 제어 성능 및 데이터 처리량을 동시에 향상시킵니다. 고해상도 이미징, 고급 옵티컬 시스템, 정교한 이미지 처리/도량형 툴을 갖춘 eS805 는 다양한 Wafer 및 Mask 검사 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.