판매용 중고 KLA / TENCOR eS37L #9232829

KLA/TENCOR eS37L (KLA/TENCOR eS37L) 은 반도체 제조 과정에서 사용되는 석판화 마스크 및 웨이퍼의 물리적 결함을 감지하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 45nm 정도의 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 넓은 시야를 통해 30 개 이상의 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 를 동시에 이미징할 수 있으며 초당 최대 140 개의 스캔 필드를 스캔할 수 있습니다. 또한, 시스템은 프로세스 요구의 변화에 대응하여 특정 사용자 지정 감지 (custom detection) 요구 사항을 충족하도록 재구성할 수 있으므로 적응력이 뛰어납니다. KLA eS37L 장치는 고급 이미징 기술을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 식별, 분류 및 감지합니다. 이것은 정밀한 렌즈 및 광원을 포함한 수많은 광학 구성 요소를 통해 달성됩니다. 또한 특허 받은 ARCSharp ™ 조리개 기술 및 TeleSight ™ 신호 처리 알고리즘을 포함한 독점 KLA 기술을 통합합니다. ARCSharp ™ 기술은 4 사분면 스캔 아키텍처를 활용하여 이미징 및 결함 감지 성능을 향상시킵니다. 그런 다음, 기계는 이미지를 분석하여 결함의 모양과 크기를 결정하고, 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 위치를 식별합니다. TENCOR eS37L 툴에는 고급 소프트웨어가 포함되어 있어 자동 결함 분류 및 검토가 가능합니다. 또한 종합보고 제품군을 통해 검사 결과를 자세히 분석 할 수 있습니다. 또한 자산은 완전하게 자동화되며 기존 자동 장비 (예: 웨이퍼 분류기, 컨베이어 시스템, 추적/추적 시스템) 와 통합됩니다. 이 통합을 통해 모델을 가장 효율적으로 사용할 수 있습니다. ES37L 장비는 반도체 제조 공정에 사용되는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 에 대한 결함의 효율적이고 정확한 검출에 필수적인 도구다. 첨단 이미지 처리 기술, 자동 결함 분류 (Automated Defect Classification), 종합적인 보고 (Comprehensive Reporting) 기능을 통해 결함 감지 및 분석 작업을 신속하고 정확하게 수행할 수 있어 미세한 물리적 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 통합 (Software Integration) 기능은 시스템이 효율적인 방식으로 사용되도록 도와줍니다. KLA/TENCOR eS37L 장치는 안정적이고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다.