판매용 중고 KLA / TENCOR eS35 #9379821

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ID: 9379821
웨이퍼 크기: 12"
E-Beam inspection system, 12".
KLA/TENCOR eS35 (KLA/TENCOR eS35) 는 반도체 제조업체가 생산 프로세스를 향상시키도록 설계된 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션입니다. KLA eS35 는 최신 통합 옵틱, 웨이퍼 (wafer) 분석, 이미징 기술을 활용하여 결함 사이트에 대한 고해상도 3D 이미지와 마스크 아래의 고밀도 어레이 수준을 제공합니다. TENCOR ES 35는 고급 와이드 필드 이미지 획득 장비 (Wide-Field Image Acquisition Equipment) 와 자동 웨이퍼 전송 플랫폼 (Wafer Transport Platform) 을 갖추고 있어 단일 이미지에서 인쇄 결함을 신속하게 스캔, 검사 및 감지합니다. 시스템 고유의 픽셀 매핑 프로세스 (Pixel Mapping process) 를 통해 사용자는 하나의 큰 결함 또는 여러 개의 재발생 결함을 신속하게 찾을 수 있습니다. 이 장치에는 생산성과 정확성을 향상시키도록 설계된 다양한 소프트웨어 (software) 툴이 포함되어 있습니다. 3D eS-Scan (3D eS-Scan) 기능을 사용하면 하위 레이어 이미징이 깊어지고 반도체 제품 내에 저장된 피쳐를 볼 수 있습니다. 이 도구는 다이 투 다이 (die-to-die) 실패와 관련된 결함을 식별할 수 있으며 패턴화된 결함 검사의 해상도를 향상시킵니다. 이 기계는 또한 다양한 객관적인 평가 기준 (objective evaluation criteria) 을 제공하여 결함을 쉽게 감지하고 분류할 수 있습니다. 또한 프로세스 자동화를 위한 자동화 (automation) 템플릿이 있어 복잡한 구조적 특성을 쉽게 감지할 수 있습니다. 이 툴에는 프로세스 리소스를 모니터링하고 결함 추세를 분석할 수 있는 통계 모듈도 포함되어 있습니다 (영문). 데이터 분석 (data analysis) 은 여러 디바이스의 데이터를 공유하고 비교할 수 있는 강력한 애플리케이션 라이브러리를 사용하여 수행됩니다. eS-Quad (eS-Quad) 기능은 사용자가 가장 검사하기 어려운 영역에서도 결함을 확인할 수 있도록 평평하고 평평하지 않은 각도 뷰를 제공합니다. ES35 는 안정적이고, 빠르고, 효율적인 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 솔루션으로 뛰어난 품질의 솔루션을 제공합니다. TENCOR eS35 (TENCOR eS35) 는 다양한 고급 이미징 기능과 자동화 기능을 통해, 반도체 제품의 결함을 검사하고 감지하는 데 걸리는 시간을 현저히 줄일 수 있습니다.
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