판매용 중고 KLA / TENCOR eS35 #9225299
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ID: 9225299
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
E-Beam inspection system, 12"
EFEM
UI
Power box
IPDU
2010 vintage.
KLA/TENCOR eS35는 고급 반도체 제조를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 그것 은 "마스크 '와" 웨이퍼' 의 표면 에 결함 과 결함 을 감지 하기 위하여 광학 "센서 ', 전기" 센서' 및 기계 "센서 '의 조합 을 사용 한다. KLA eS35 는 특허를 획득한 5 개의 기술을 사용하여 잠재적 결함을 정확하게 감지하고 파악하고, 초당 최대 1000 개의 샘플 사이트에 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 시스템은 고해상도 레이저, 카메라를 기반으로 한 내장형 마스크, 웨이퍼 이미징 장치를 사용합니다. 이 기계는 이미지 데이터를 캡처하여 고성능 컴퓨터 (HPC) 도구로 처리, 분석합니다. 자산은 마스크와 웨이퍼 모두에서 4 차 패턴 영역, 구덩이, 균열, 먼지, 먼지 및 입자 잔기와 같은 기능을 감지 할 수 있습니다. TENCOR ES 35는 특허를받은 '오프 축 기술' 을 사용하여 결함을 감지합니다. 이 모델은 장비가 마스크 표면에서 결함을 감지하고 더 정확하게 웨이퍼 (wafer) 를 감지할 수 있도록 하는 독특한 오프 축 (off-axis) 이미징 기술을 사용합니다. 미크론 규모의 결함을 측정 할 수 있으며, 이는 종종 기존 시스템에서 눈에 띄지 않습니다. 시스템은 샘플 서피스의 3D 프로파일을 생성하며, 이를 통해 가장 작은 결함까지 감지할 수 있습니다. ES 35에는 정교한 결함 분류 알고리즘이 장착되어 있습니다. 이 장치는 결함을 임계 (critical) 또는 비임계 (non-critical) 로 분류할 수 있으며 크기, 모양, 위치, 상관 관계 및 오염에 따라 결함을 분류 할 수도 있습니다. 이 기계는 또한 지난 검사 결과를 바탕으로 학습 자동화 (automated learning) 를 허용하는 고급 학습 알고리즘을 가지고 있습니다. TENCOR eS35에는 검사 매개변수, 실시간 이미지, 그래프, DICE 보고서 등을 사용자 정의할 수 있는 고급 연산자 인터페이스가 있습니다. 이 도구는 업계 표준 통신 프로토콜과도 호환되므로 기존 반도체 생산 시스템에 인라인 (in-line) 통합이 가능합니다. 전반적으로, eS35 는 강력하고 신뢰할 수 있는 자산으로, 마스크와 웨이퍼 표면의 결함을 정확하고 신속하게 파악하고 분류할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 구성성이 뛰어나고 사용이 간편하여 품질 (Quality) 을 저해하지 않고 비용을 절감하고자 하는 사람들에게 적합한 솔루션입니다 (영문).
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