판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #9398361

KLA/TENCOR eS32는 반도체 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 데 사용되는 자동 광학 검사 장비입니다. 10 미크론 이미징 해상도를 통해 임계 치수 (CD), 라인 너비 변형, 잘못된 정렬, 스크래치, 핀홀, 미립자, 얼룩 및 기타 공정 유발 결함을 포함하여 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA eS32 는 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 (darkfield) 이미징을 모두 지원하므로 투명 및 불투명 표면에서 가장 작은 결함을 감지할 수 있습니다. TENCOR ES 32의 고급 고해상도 카메라에는 5 메가 픽셀 센서와 16mm 트윈 렌즈 (twin lens) 디자인이 장착되어 있어 다양한 기판에서 미세한 기능을 감지할 수 있습니다. 카메라는 초당 최대 100 프레임의 속도로 이미지를 캡처할 수 있으며, 블러 (blur) 가 크게 줄어든 초단파 펄스 레이저 (pulse laser) 로 웨이퍼를 노출시킵니다. 또한 brightfield, darkfield 및 combined brightfield-darkfield를 포함한 KLA ES 32의 여러 검사 모드는 사용자에게 포괄적인 결함 범위를 제공합니다. 강력한 이미징 기능 외에도 KLA/TENCOR ES 32에는 여러 가지 고급 인텔리전스 기능이 있습니다. 여기에는 최적화된 결함 감지 정확도를위한 내장 이미지 분석 알고리즘과 자동으로 신뢰할 수있는 독점 자동 디포커스 교정 (Auto Defocus Correction) 시스템이 포함됩니다. 이 장치의 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용자 친화적이며, 손쉽게 이미지를 검사하고 데이터를 신속하게 분석할 수 있는 터치 (touch) 방식의 모니터를 갖추고 있습니다. ES32 는 모듈식 플랫폼 (modular platform) 을 기반으로 구축되어 있어 특정 반도체 검사 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 고도로 정확한 로우 프로파일 비전 (low-profile vision) 시스템은 고속 검사와 스캔 및 측정 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 또한, 이 도구의 고급 알고리즘과 견고한 공차는 시각적 감지, 다운타임 감소, 안정적이고 안정적인 검사 환경을 제공합니다. 전반적으로, TENCOR eS32는 고급 이미징 기술, 지능형 기능, 사용자 정의 가능한 모듈식 플랫폼 때문에 반도체 마스크 및 웨이퍼를 위한 탁월한 자동 광 검사 자산입니다. 즉, 빠르고 안정적인 결함 감지, 생산량 및 제품 품질 극대화를 위해 설계되었습니다.