판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #9387246
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ID: 9387246
빈티지: 2006
Electron-Beam Defect Inspection (EBI) system
Scan boards missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR eS32는 고해상도 고속 검사 시스템을 활용하여 샘플당 장치 처리량 및 소요 시간을 극대화하는 정교하고 기술적으로 고급 MWI (Mask and Wafer Inspection) 장비입니다. 이 기계는 자동화된 5축 선형 모터 이미징 (Linear Motor Imaging) 기능을 통해 자동 샘플 로딩 및 최적화 기능을 통해 모든 샘플을 효율적이고 정확하게 검사할 수 있습니다. 자동 샘플 제어는 샘플을 잘못 로드하거나 잘못 처리할 수 없도록 보장하며, 사람의 오류 (human-error) 를 제거하고 고품질 검사 절차를 수행합니다. KLA eS32에는 강력한 실시간 분석 (real-time analysis) 및 인식 된 결함에 대한 특수 알고리즘 기반 식별을 포함한 고급 처리 기능이 있으며, 이는 반도체 장치 및 해당 기능에서 표면 및 지표면 결함을 감지하는 데 사용할 수 있습니다. MWI 도구 (MWI Tool) 에는 검사되는 샘플에 대한 보다 자세한 정보를 표시하도록 설계된 풀 필드 조명 에셋 (full-field illumination asset) 이 장착되어 있습니다. 통합 조명 모델 (Integrated Lighting Model) 은 자동화된 프로세스 단계에서 작동하며, 다양한 장치 기판에 일관된 수준의 정밀도를 제공합니다. 또한, 이 장비는 전체 웨이퍼를 빠른 속도로 이미징하고, 시간과 노력을 절감하며, 결함 검토 및 분석을 위한 초고해상도 (Ultra-High Resolution) 디지털 이미지를 제공합니다. 또한 고급 데이터 분석 기술 (Advanced Data Analysis Technologies) 을 통해 이전에 눈에 띄지 않은 기능을 파악할 수 있으며, 일관된 결함 인식 (Defect Recognition) 및 분류 (Classification) 기능을 제공합니다. TENCOR ES 32 (TENCOR ES 32) 의 뛰어난 이미징 기능과 고급 데이터 분석은 마스크 및 웨이퍼 검사를 정확하고 정확하게 수행하는 데 중요한 요소입니다. 자동 샘플 로딩, 초고해상도 이미징 (Ultra-High Resolution Imaging), 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 이 결합되어 고객에게 최고의 처리량과 우수한 결과를 제공합니다. 초고해상도 이미징 기술 (UHT) 과 일체형 조명 장치 (Integral Lighting Unit) 와 같은 하이엔드 구성 요소와 결합하여 MWI 업계 선두업체의 선두업체입니다.
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