판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #9315826
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KLA/TENCOR eS32는 반도체 제조업체의 요구를 충족하도록 설계된 고급, 정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 의 "이미지 '를 정확 하고 신속 히 검사 하여 결함 과 오염 을 입힐 수 있다. KLA eS32는 고급 2 차원 광학 검사 및 이미지 처리 기술을 사용하여 스캔 및 검사 및 다이 매트릭스 맵 응용 프로그램 모두에서 결함 및 오염 물질을 자동으로 감지합니다. TENCOR ES 32는 패턴 및 기능의 고해상도 이미지를 캡처함으로써 알루미늄 선, 폴리실리콘 (polysilicon) 기능과 코발트, 은, 기타 재료와 같은 오염 물질을 포함하여 다양한 크기와 모양의 패턴을 정확하고 정확하게 캡처 할 수 있습니다. TENCOR eS32 시스템은 정확성, 처리량, 반복성에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고속 웨이퍼 검사, 이중 현미경 영상, 도량형 도량형 등의 옵션을 제공하는 완전한 검사 장치입니다. 또한, 이 기계는 자동 결함 분류를 제공하며, 다른 도구 및 하드웨어와 쉽게 통합 할 수 있습니다. ES 32 는 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 통해 손쉽게 작동하고 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 또한 고급 분석 (Analytical) 및 시뮬레이션 (Simulation) 기능을 통해 결함의 원인과 영향을 파악할 수 있습니다. 또한, 이 도구의 고속 웨이퍼 검사 옵션은 가장 작은 입자와 결함까지도 식별 할 수 있으며, 이중 현미경 이미징 (dual-microscopy imaging) 은 분석을위한 고품질 이미지를 제공합니다. ES32 는 강력한 검사 자산으로, 고정밀도 스캐닝 및 측정 기능과 통합된 제어/프로세스 조정 기능을 제공합니다. 이 검사 모델은 가장 고급적이고 효율적인 마스크/웨이퍼 (wafer) 진단 솔루션 중 하나로, 사용자가 정확한 결과와 신뢰할 수 있는 검사 플랫폼을 제공합니다.
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