판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #9282549

KLA / TENCOR eS32
ID: 9282549
E-Beam inspection systems.
KLA/TENCOR eS32는 정확한 패턴 특성화가 가능하도록 심층적 인 서브 미크론 해상도 도량형을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA eS32 는 고급 분석 알고리즘 (advanced analysis algorithm) 과 풋프린트 기반 광학 (optics) 의 독특한 조합으로 인공물을 가장 작은 수준으로 캡처할 수 있습니다. TENCOR ES 32는 다양한 이미징 옵션을 갖춘 3D 이미징 시스템을 제공합니다. 4 채널 TENCOR eS32 카메라와 5 채널 eS32-T 카메라의 두 가지 카메라가 장착되어 있습니다. KLA ES 32 카메라는 최대 픽셀 해상도 1024 x 1024의 이미지를 캡처하고 ES 32-T는 최대 픽셀 해상도 2048 x 2048의 이미지를 캡처합니다. 이 장치는 마스크 검사, 웨이퍼 검사, 오버레이 검사 등 다양한 패턴 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. KLA/TENCOR ES 32는 심층적 인 서브 미크론 패턴 해상도를 가능하게하며 입자를 0.5m까지 감지 할 수있는 고급 이미징 기술을 사용합니다. 이 강렬한 패턴 분석은 KLA/TENCOR eS32의 독점 소프트웨어로 구동되며, 이 소프트웨어는 고급 알고리즘을 사용하여 고해상도 분석을 제공합니다. 또한, KLA eS32에는 레티클, 마스크, 웨이퍼에 대한 오버레이 측정을 뛰어난 정확도로 제공 할 수있는 통합 오버레이 머신이 있습니다. TENCOR ES 32에는 TENCOR eS32-SE라는 내장 표면 검사 도구가 제공됩니다. ES32-SE는 완전 통합 렌즈 기반 자산으로, 다크 필드 (dark field) 및 밝은 필드 이미징을 포함한 다양한 조명 소스를 통합합니다. 이 모델은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면에서 결함이 있는 입자, 긁힘, 먼지 및 기타 오염 물질을 감지하는 데 사용될 수 있습니다. KLA ES 32는 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스와 강력한 소프트웨어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 즉, 고유한 애플리케이션 요구 사항에 맞게 장비를 빠르고 간편하게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 또한, 시스템은 수작업 (manual intervention) 이 필요 없이 다른 웨이퍼 크기로 자동으로 조정할 수 있습니다. ES 32 는 오늘날의 첨단 기술의 초고급 패턴화 애플리케이션에 이상적인 툴입니다. 탁월한 이미징 기능, 자동 정렬 장치, 사용자 친화적 인터페이스 등을 갖춘 KLA/TENCOR ES 32는 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션으로, 심층적인 하위 현미경 기능 특성을 제공합니다.
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