판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #9257407

KLA / TENCOR eS32
ID: 9257407
Electron-Beam Defect Inspection (EBI) systems.
KLA/TENCOR eS32는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 여러 고급 기술을 사용하여 결함 감지 기능 및 수율을 최대화합니다. KLA eS32는 마스크 및 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 제공하는 다중 스펙트럼 순차 조명을 특징으로합니다. 따라서 복잡한 마스크 디자인, 심각한 결함, 모호한 점 등을 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 시스템에는 여러 이미징 센서가 장착되어 있는데, 이 센서는 희미한 결함까지도 감지할 수 있으며, 잘못된 거부를 최소화하고, 워크플로를 최적화할 수 있습니다. TENCOR ES 32는 다양하고 사용하기 쉬운 소프트웨어 사용자 인터페이스를 사용합니다. 여기에는 검사 결과를 그래픽으로 표시하는 직관적인 LED 모니터가 포함되어 있습니다. 또한 KLA/TENCOR ES 32에는 Analytical Inspection Module이 포함되어 있어 결함 데이터를 신속하게 분석하고 개선 영역을 식별 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 검사 속도, 반복 가능성 및 작업 관리 측면에서 추가적인 이점을 제공합니다. KLA ES 32는 133MHZ 32 비트 RISC CPU를 기반으로하며, 프로세싱은 일련의 FPGA 장치를 통해 최적화됩니다. 이 기계에는 동적 확인 (dynamic verification), 통계적 빠른 중지 (statistical quick stopping), 결과 분석 (results analysis) 등의 기능이 포함되어 있어 마스크와 웨이퍼를 가장 정확하게 검사할 수 있습니다. 또한 eS32에는 프로그래밍 가능한 조작 장치 (manipulation unit) 와 탐지기 (detector) 가 장착되어 있어 원격 작동이 가능하므로 최적의 제어 및 정확성이 보장됩니다. TENCOR eS32 (TENCOR eS32) 는 강력하고 안정적인 검사 툴로서 대규모 마스크 및 웨이퍼 생산에 최적화되어 있습니다. 이 최첨단 자산은 가장 복잡하고 섬세한 설계를 확인하는 데 최적의 결과를 제공합니다. 이 모델의 고급 기능 (Advanced Features) 과 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 는 검사 프로세스를 개선하기 위한 능숙한 장비입니다. ES 32 는 강력한 기능과 맞춤식 옵션을 통해 모든 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 애플리케이션의 비용을 절감하고 수익률을 높일 수 있도록 지원합니다.
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