판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #9205645

KLA/TENCOR eS32는 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 가장 까다로운 반도체 제작 프로세스에 대해 실시간 결함 감지를 제공합니다. 혁신적인 성능을 제공하며 최대 32 개의 복잡한 마스크나 웨이퍼를 동시에 검사 할 수 있습니다. 이 시스템의 가변 해상도는 0.26 미크론으로 이전 장치에 비해 4 배 향상되었습니다. 이를 통해 하위 광 결함 크기를 감지 할 수 있습니다. 이는 현대 16 나노 미터 및 20 나노 미터 반도체 제작에서 생산성을 보장하는 데 필수적입니다. KLA eS32는 DFM (Dynamic Focus Module) 을 사용하여 각 검사 레이어의 포커스를 자동으로 조정합니다. 이는 동급 최고의 이미지 선명도를 제공하며, 잘못된 스테이지 교정으로 인한 문제를 제거합니다. 이 기계는 또한 독점적 인 Q-Detect 알고리즘을 포함하며, 이를 통해 탐지되지 않은 상태로 유지되는 복잡한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 정교한 알고리즘은 가능한 모든 결함 유형을 다루기 위해 논리에 3 가지 탐지 이데올로기를 결합합니다. 또한 TENCOR ES 32에는 단일 스냅샷에서 전체 웨이퍼를 캡처할 수 있는 고유한 이미지 캡처 기능이 있습니다. 이로 인해 처리량이 증가하고 결함 탈출 위험이 줄어듭니다. 또한, 이 도구에는 HDR (High-Dynamic Range) 이미지 프로세서가 장착되어 있으며, 이를 통해 미세한 결함과 결함 분류 개선을 위한 특징 서명을 쉽게 구분할 수 있습니다. KLA/TENCOR ES 32는 또한 KLA iQ 기술을 사용하여 검사 성능을 최적화합니다. 이 기술은 머신 러닝 (machine-learning) 알고리즘을 사용하여 어려운 결함을 감지하기 위해 검사 작업을 자동으로 조정합니다. 결론적으로 KLA ES 32는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 완벽한 솔루션입니다. 탁월한 성능을 제공하며, 다양한 기능을 제공하여 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있습니다 (영문). 이 제품은 반도체 업계에 이상적인 툴로서, 최적의 수율과 최상의 제품을 제공합니다.