판매용 중고 KLA / TENCOR eS32 #293829839

KLA / TENCOR eS32
ID: 293829839
E-Beam inspection system.
KLA/TENCOR eS32 (KLA/TENCOR eS32) 는 심각한 결함 감지를 높이고 전반적인 수율 성능을 향상시키려는 반도체 제조업체를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 도구는 하위 픽셀 이미지 정렬, 자동 샘플링 및 검사를 수행할 수 있습니다. KLA eS32 시스템은 KLA 독점 InstrestionView 소프트웨어를 사용하여 하드 디스크 드라이브 및 Thin-film Head Disk 제조업체가 수익률 관련 문제를 파악하고 완화하도록 도와줍니다. 이 장치에는 스마트 스캔 기술 (Smart Scan Technology) 이 포함되어 있어 사용자가 데이터를 "미세 조정" 하고 즉시 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 TENCOR ES 32 머신 (TENCOR ES 32 machine) 은 강력한 결함 감지 및 분류 기능을 제공하여 생성된 데이터에 대한 알고리즘을 실행하여 보다 상세한 분석을 생성합니다. KLA ES 32 도구는 이미지 디섹터 및 현미경 스테이지를 특징으로하며, 시야각 (FOV) 은 20x10 mm 범위이며 해상도는 최대 3 µm입니다. 이 FOV 는 인쇄된 모든 패턴을 정확하게 분석하여, 사용자가 잠재적 결함을 파악하고 적절한 조치를 취할 수 있도록 합니다. ES32 에는 정보를 신속하게 검색, 저장, 분석할 수 있는 여러 가지 자동화된 기능이 있습니다. 여기에는 자동 정렬 (automated alignment) 및 중심 찾기 (center finding) 기능이 포함되므로 웨이퍼 스캔에 소요되는 시간이 단축됩니다. 또한, 자산에는 명암비 (contrast) 와 명도 (brightness) 를 자동으로 계산하여 웨이퍼를 검사하는 데 소요되는 전체 시간을 더욱 줄입니다. KLA/TENCOR ES 32는 Pattern Analysis Toolkit 소프트웨어를 사용하며 OPC Analysis Toolkit, Advanced Mask Analysis (AMA) 의 세 가지 미리 정의된 마스크를 제공하여 미세 분말 감지, 자동 입자 검사 (API) 를 통해 먼지 및 잔해 입자를 자동으로 식별할 수 있는 색상 패턴, 그리고 색상 패턴 또한 ES 32 는 자동 테스트 파장 선택 (automated test wavelength selection) 기능을 제공하여 사용자가 그림을 세밀하게 조정하여 보다 정확한 분석을 수행할 수 있도록 합니다. 또한 사용자는 HD 맵 확인, 웨이퍼 비닝, 오버레이 분석 등 여러 가지 강력한 기능에 액세스할 수 있습니다. TENCOR eS32 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 APC (Advanced Process Control) 및 생산성 향상을 위한 강력한 도구입니다. 또한 EMC 는 전반적인 생산성과 효율성을 향상시키기 위해 잠재적인 결함을 신속하게 감지하고 파악할 수 있는 기능을 제공합니다 (영문). KLA/TENCOR eS32 는 운영 결함의 원인을 신속하고, 정확하고, 효과적으로 진단함으로써, 고객의 생산량의 품질과 안정성을 높이고, 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다.
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