판매용 중고 KLA / TENCOR eS31 #9203779

KLA / TENCOR eS31
ID: 9203779
Defect inspection system.
KLA/TENCOR eS31은 생산 수율을 향상시키기 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 산업을 위해 더 나은 품질의 집적 회로 (integrated circuit) 와 광전자 (optoelectronic) 장치의 생산을 보장합니다. 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 이미징 및 측정 기능을 제공하여, 중요한 생산 매개변수를 신속하게 제어, 측정할 수 있습니다. KLA eS31은 고급 이미지 처리 알고리즘이있는 KLA CCD (charge coupled device) 기술을 매우 정확한 단일 시스템에 통합합니다. 이 장치는 웨이퍼 및 레티클 (마스크) 측정을 포함한 다양한 검사 작업을 수행합니다. 사용자 정의 조명기 (Custom Lumination Machine), 복잡한 이미징 알고리즘, 매우 작은 기능과 변형을 측정하는 특수 데이터 획득 기술이 통합되어 있습니다. TENCOR eS31 의 독보적인 자동 초점 기능 (auto-focus feature) 은 더욱 다양한 초점을 제공하여 기존의 자동 광 검사 시스템에 비해 뛰어난 이점을 제공합니다. 또한 입자 크기, 입자 유형, 지형, 어셈블리 피쳐 등 다양한 표면 특성을 자동으로, 최적으로 수집할 수 있습니다. ES31 은 다양한 스캐닝 (Scanning) 및 작업 (Task) 옵션을 제공하여 개별 고객 요구 사항에 맞게 툴을 설계, 구성할 수 있습니다. 자산은 자동 (automated) 전기 테스트 시스템, 자동 (automated) 광 검사 및 정렬 시스템, 독립형 (Standal) 광 시스템 등 다양한 요구 사항을 충족하도록 다양한 액세서리로 구성할 수 있습니다. KLA/TENCOR eS31은 다양하고 끊임없이 변화하는 다양한 도구를 제공합니다. 또한, 이 모델은 고객의 기존 운영 시스템과 완벽하게 통합되어, 추가 하드웨어 요구 사항을 최소화합니다. 따라서 확장성이 향상되고 운영 유연성이 향상됩니다. 장비의 유연한 소프트웨어를 사용하면 여러 데이터 포인트를 수집 할 수 있습니다. 소프트웨어는 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있으며, 레티클 (reticle), 마스크 (mask), 웨이퍼 (wafer) 특성 등 다양한 결함을 검사하고 분석할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 (Software) 를 사용하여 시스템 컴포넌트의 품질 및 성능에 대한 자세한 분석을 제공하는 보고서를 생성할 수 있습니다. 결론적으로 KLA eS31은 생산 수율을 향상시키기 위해 설계된 고성능 Mask and Wafer Inspection Unit입니다. 이 제품은 매우 정확하며, 초점 범위가 개선된 자동 초점 (auto-focus) 기능을 갖추고 있으며, 데이터 포인트 선택 (datapoint selection) 과 보고 (reporting) 옵션이 여러 개인 유연한 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 또한 기존 운영 시스템과 완벽하게 통합되어 확장성이 향상되고, 운영 유연성이 향상됩니다.
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