판매용 중고 KLA / TENCOR eS31 #293619038
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KLA/TENCOR eS31은 반도체 산업을 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 2D 및 3D 검사 기술을 사용하여 고급 반도체 제품의 결함을 정확하게 감지합니다. 이 장치는 자동 스티칭 (automated stitching) 을 사용하여 다이 표면의 정확한 맵을 만들고, 높은 정확도와 신뢰성을 가진 결함을 감지하기 위해 고급 알고리즘을 사용합니다. 기계에는 높은 처리량 검사 속도가 있으며, 시간당 최대 1,500 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. KLA eS31 도구는 고급 광학, 동작 제어 시스템, 이미지 처리 알고리즘을 포함한 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. 자산의 광학에는 전동 객관식 렌즈, 원격 중심 조명, 광학 필터 및 편광 광원이 포함됩니다. 광학은 기존의 광학 (optics) 보다 높은 품질과 정확도의 이미지를 생성하는 데 사용됩니다. 모션 제어 모델에는 6 개의 다른 축으로 움직일 수있는 헥사 포드 (hexapod) 모션 스테이지가 포함되어 있어 장비가 다이 표면을 정확하게 스캔 할 수 있습니다. 시스템에서 사용하는 이미지 처리 알고리즘은 고급 머신 러닝 (advanced machine learning) 기술을 사용하여 다이 표면의 결함을 감지하고 분류합니다. 알고리즘은 공백, 입자, 골절, 지형 오류 등 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 가장 정확한 결함 분류를 위해 결함의 위치와 크기 (position and size) 를 감지할 수 있습니다. 또한, 기계는 추가 분석 및 검토를 위해 분류 주석이 있는 이미지를 출력할 수 있습니다. TENCOR eS31은 정확하고 신뢰할 수 있는 마스크 및 웨이퍼 검사를 수행하는, 강력하고 안정적인 도구입니다. 고급 광학, 동작 제어 시스템 (Motion Control System) 및 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 정확성과 신뢰성이 높은 다이 표면에서 다양한 결함을 감지합니다. 이 자산은 처리율이 높으며, 다양한 반도체 (semiconductor) 애플리케이션에 사용하기에 적합합니다.
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