판매용 중고 KLA / TENCOR eS31 #293610174
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ID: 293610174
빈티지: 2005
E-Beam inspection system
Loader unit
Console unit
Noise cut AVR
(2) Dry pumps
2005 vintage.
KLA/TENCOR eS31은 최고 효율성과 정확성을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 고해상도 광학 장치, 고급 레이저 회절 기술, Advanced Motion ControlTM 등을 활용하여 최대 10 미크론 해상도의 고품질 이미지를 제공합니다. KLA eS31 은 여러 하위 시스템과 구성 요소로 구성되어 있어 최고의 정확성과 생산성 (productivity) 을 제공합니다. 이 기계에는 단층 촬영 장치, 웨이퍼 검사 단계, 현미경 목표, 레이저 회절 도구, 슬라이딩 스테이지 및 자동 웨이퍼 포지셔닝 자산, 고정밀 모니터가 포함됩니다. 단층 촬영 장치 (tomography unit) 는 진동을 줄이고 이미징 안정성을 향상시키기 위해 고도의 고급 구조를 갖추고 있습니다. 단층 촬영 장치 (tomography unit) 는 고급 레이저 조명기, 13 인치 액정 디스플레이 및 초점 제어 모델을 사용하여 선형 또는 원형 패턴으로 최대 10 미크론까지 명확하고 정확한 이미지를 제공합니다. 웨이퍼 검사 단계는 정밀 조작기와 슬라이딩 스테이지 장비를 갖춘 고급 듀얼 암 카메라 홀더입니다. "와퍼 (wafer) '의 위치성을 극대화하고, 드리프트 (drift) 와 스트레스 (stress) 를 최소화하며, 현미경 (microscope) 목표는 초고검사 해상도에서도 최고 수준의 확대를 제공하도록 설계되었다. 레이저 회절 시스템 (Laser diffraction system) 은 라인 에지 거칠기 (line edge roughness) 와 같은 특수 구조를 검사하는 데 최대 정확도를 제공하며, 선 너비 0.1 미크론에서 40 미크론까지 보정 할 수 있습니다. 다축제 로봇 암 (multi-axis robotic arm) 을 설치하면 장치의 정확도와 정밀도가 더욱 높아지고, 생산이 빨라지고, 더 신뢰할 수있는 검사 수익률로 이어집니다. 또한 TENCOR eS31에는 고해상도 모니터가 장착되어 있어 최대 10 미크론의 이미지를 정확하게 볼 수 있습니다. 즉, 색상이 큰 디스플레이가 특징이며, 이를 통해 연산자는 설정을 정확하게 조정하고 결과를 신속하게 분석할 수 있습니다. ES31은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 이상적인 기계입니다. 종합적인 기능 세트는 최고의 정확성과 검사의 속도를 제공하므로 품질 (Quality) 부품이 빠르고, 안정적이며, 일관되게 전달됩니다.
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